配备了 TC 1200、E74、DN 250 ISO-F 的 HiPace® 2300 UC，腐蚀性
| 0.1 hPa 高真空压力下的CF4气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氢气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量 | 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s |
| 0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量 | 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s |
| CF4的压缩比 | > 1 · 108 |
| CF4的抽气速度 | 1480 l/s |
| I/O 接口 | E74, RS-485 |
| 允许的最高径向磁场 | 7 mT |
| 冷却水接口 | G 1/4” |
| 冷却水流量 | 100 l/h |
| 冷却水温度 | 15 – 35 摄氏度 |
| 冷却类型 | 水 |
| 启动时间 | 4 分 |
| 声压水平 | ≤50 分贝 (A) |
| 安装方向 | 90° – 180°（高真空法兰底部） |
| 放气接口 | G 1/8" |
| 最大冷却水流量 | 100 l/h |
| 最大耗电量 | 1350 伏安 |
| 最大转速下的CF4气流量 | 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
| 最小冷却水流量 | 100 l/h |
| 最终压力 | < 1 · 10-7 百帕 |
| 最终转速下的氢气流量 | < 50 hPa l/s | < 37.5 Torr l/s | < 50 mbar l/s |
| 最终转速下的氮气流量 | 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s |
| 氢气抽气速度 | 1850 l/s |
| 氢气的压缩比 | 2 · 104 |
| 氦气在最终转速下的气流量 | 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s |
| 氦气的压缩比 | 3 · 105 |
| 氦气的抽气速率 | 2000 l/s |
| 氩气在最终转速下的气流量 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
| 氩气抽气速率 | 1800 l/s |
| 氩气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 氮气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 用于氮气的抽气速度 | 1900 l/s |
| 电子驱动单元 | TC 1200 |
| 电流最大值 | 10 A |
| 腐蚀性气体型 | 是 |
| 认证 | 兼容 Semi S2 UL CSA TÜV |
| 转速 ± 2 % | 31,500 rpm | 31,500 min-1 |
| 转速可变化 | 50 – 100 % |
| 轴承 | 混合 |
| 连接法兰（入口） | DN 250 ISO-F |
| 连接法兰（出口） | DN 40 ISO-KF |
| 适用于氮气的前级真空最大值 | 1.8 百帕 |
| 适用于电子驱动单元 | TC 1200 |
| 重量 | 36.8 千克 |
| 防护等级 | IP54 |
| 集成电源包 | 是 |
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 数据表 | ZH | 2022-08-18 | ~ 447.1 KB | ||
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 操作手册 | ZH | 2022-01-04 | ~ 8.7 MB | ||
| 操作说明 | ZH | 2020-02-10 | ~ 3 MB | ||
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