HiPace® 2800 IT

功率充沛的涡轮泵，抽气速率高达 2800 l/s。

产品描述

• 适用于离子注入系统
• 优化的抽气速率，适于轻气体
• 镀镍的转子确保可以耐受所用的搀杂剂
• 智能温度管理系统可减少过程冷凝和沉积
• 准 S2 和 UL/CSA 认证

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