涡轮分子泵

引领真空泵的发展步伐

在日常生活中，真空对于制造许多高科技产品至关重要。研究和工业领域的许多应用都需要极低压力的真空。这就是 Pfeiffer 涡轮泵的作用所在。

泵管线

Item 1 of 4

涡轮分子泵作为技术标准

涡轮分子泵因其内部形状和相关涡轮机相似而得名，已在全球范围内确立了工业和科学研究领域真空获得生成的技术标准。涡轮泵由 Pfeiffer 工程师 Willi Becker 博士于 1958 年开发，采用高速转子。转速高达 90,000 转/分钟，可产生低于 10-11 hPa的真空，从而为您的应用提供理想的压力条件，例如高真空 (HV)、超高真空 (UHV) 或极高真空 (XHV) 。

HiPace 10 Neo 不仅在同类产品中无与伦比，而且由于其机械轴承和较大的热工作范围而特别适合移动应用。

Pfeiffer 涡轮泵

在复合混合轴承和全磁浮磁力轴承之间进行选择

Pfeiffer 涡轮泵采用两种不同的轴承技术工艺：复合混合轴承悬架和主动 5 轴全磁悬浮系统。两种轴承系统都以其各自的优势而令人信服。

带复合轴承的涡轮分子泵

配备复合轴承的涡轮分子泵在前真空侧采用陶瓷球轴承，在高真空侧采用永磁轴承。这种组合提供了极其坚固且清洁的转子轴承布置。凭借其集成的工作液储存器，转子可以轻松散热并可靠运行。磨损颗粒通过工作液储罐过滤掉，从而延长了总使用寿命。Pfeiffer 作为混合轴承的发明者，率先采用了这种高效的轴承技术工艺。回顾 40 年的制造经验，您可以信赖我们复合轴承涡轮分子泵的质量。

复合轴承涡轮分子泵的剖视图

了解有关混合轴承涡轮分子泵的更多信息

磁悬浮涡轮分子泵

磁悬浮涡轮分子泵的转子由电磁体和数字电子控制系统保持悬浮状态，确保转子和外壳之间没有机械接触点。此外，如果发生电源故障，则由涡轮分子泵本身的旋转能量提供动力，直到转子牢固地落在应急轴承上。这些功能可防止转子过早磨损，并可在整个使用寿命期间免维护使用。此外，磁力轴承涡轮分子泵不需要润滑剂，从而消除了碳氢化合物污染的风险。

磁悬浮涡轮分子泵的剖视图

了解有关磁悬浮涡轮机分子泵的更多信息

Pfeiffer涡轮泵的优点是什么？

它们是幕后的秘密明星：尽管它们经常被忽视，但涡轮分子泵对于确保无故障无错误的过程做出了重大贡献。这使它们成为您的生产过程和研究项目的重要成功因素。如果您从事上述行业之一，真空对于您建立必要的工作和生产条件是必不可少的。例如，如果不使用涡轮分子泵，半导体生产或电子显微镜将是不可想象甚至不可能实现的。

Pfeiffer 涡轮分子泵采用先进的转子设计，在抽气速率、前级泵兼容性、气体流量和压缩方面表现出色。在高、超高和极高真空生成方面，Pfeiffer 涡轮泵为您提供值得信赖的理由。

最佳操作条件：高达 90,000 rpm，可产生高达 <10-11 hPa的高真空、超高真空和极高真空，抽速为 10 至 > 3,000 l/s
优异卓越品质带来高效率：长达 100,000+ 小时的无故障运行时间
高灵活性：由于其紧凑和轻便的设计，您甚至可以将我们的涡轮分子泵集成到空间有限的系统中。该泵具有 IP54 防护等级，专为工业用途而设计。
减少生产停机时间：直接在生产现场更换轴承和操作材料即可。
最先进的驱动电子设备：减少电力传输损失，实现最大能源效率并集成最新的现场总线系统
减少振动和噪音的操作：得益于我们的高精度激光平衡方法，我们的涡轮分子泵非常适合在振动敏感的应用中使用。

使用经认证的 Pfeiffer 涡轮分子泵提高工作场所安全性

现代涡轮分子泵的速度可达 1,500 Hz。因此，动能相应较高，导致极端的力作用在泵壳上，并在发生故障时在几分之一秒内锚定。

为了保证您的工作安全，Pfeiffer 与 TÜV Rheinland 合作开发了安全认证，除了机械安全之外，还包括双重过速保护。由于 Pfeiffer 涡轮泵的设计使用寿命特别长，因此我们根据 UL 61010 和 Semi S2 指南分别对我们的涡轮分子泵进行评估和认证，以确保安全使用。