5轴磁悬浮涡轮分子泵

磁悬浮涡轮分子泵

电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”，其转子位置会被不间断的监测和自动调整，并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时，这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。

技术上的完美杰作

HiPace M和ATH 500 M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术，转子 的位置能被实时控制。在工作中，动平衡装置会进行自动校准，可 以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已？我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择，从而满足各种不同界 面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位，此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。