5轴磁悬浮涡轮分子泵
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸气能力
- 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
- 在任何方向安装
- 水冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
- ATH-M 是半导体和涂料行业中的世界参考级紧凑型涡轮分子泵。适用于全球轻型工艺中的大型安装基地到 DN 200 和 DN 250 法兰尺寸的苛刻工艺
带 Holweck 级的 5 轴磁悬浮涡轮泵，氮气的抽气速度高达 2150 l/s
- 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
- 在任何方向安装
- 水冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
- ATH-M 中型涡轮分子泵是半导体和涂料行业中的世界参考级产品。适用于全球轻型工艺中的大型安装基地到 DN 200 和 DN 250 法兰尺寸的苛刻工艺
配有5轴磁轴承的纯涡轮泵（无 Holweck 级），具备用于 N2的直至 2050 l/s 的吸气能力
- 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
- 在任何方向安装
- 水冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 专为使用轻质气体的应用而设计
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 2350 l/s 的吸气能力
- 使用集成的驱动电子装置运行
- 在任何方向安装
- 水冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
- 基于对 DN 250 法兰尺寸的长期经验，ATH-M 大型涡轮分子泵已被引入硅基工业应用
带阻力级的 5 轴磁悬浮涡轮泵，氮气的抽气速度高达 3050 l/s
- 使用集成的驱动电子装置运行
- 在任何方向安装
- 水冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
- 基于对 DN 320 法兰尺寸的长期经验，ATH-M 大型涡轮分子泵已被引入硅基工业应用
配有5轴磁轴承的纯涡轮泵（无 Holweck 级），具备用于 N2的直至 2050 l/s 的吸气能力
带 Holweck 级的 5 轴磁悬浮涡轮泵，氮气的抽气速度高达 550 l/s
- 紧凑型集成驱动电子装置
- 在任何方向安装
- 水冷或风冷
- CE 标记/完全符合 RoHS
- 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
- 紧凑的磁悬浮泵，带有集成电子控制器，提供 DN 100 和 DN 160 入口法兰。
这里您可以找到关于ATH M和ATP M系列涡轮泵的配件和驱动电子设备的信息。
磁悬浮涡轮分子泵
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”，其转子位置会被不间断的监测和自动调整，并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时，这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。
技术上的完美杰作
HiPace M和ATH 500 M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术，转子 的位置能被实时控制。在工作中，动平衡装置会进行自动校准，可 以较小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。
超强的兼容性
是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已？我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择，从而满足各种不同界 面接口的连接需要。
可靠
我们ATH M和ATP* M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位，此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。
* ATP = no Holweck stage
