5轴磁悬浮涡轮分子泵

5轴磁悬浮涡轮分子泵

Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸气能力
  • 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
  • 在任何方向安装
  • 水冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
  • ATH-M 是半导体和涂料行业中的世界参考级紧凑型涡轮分子泵。适用于全球轻型工艺中的大型安装基地到 DN200 和 DN250 法兰尺寸的苛刻工艺
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 2150 l/s 的吸气能力
  • 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
  • 在任何方向安装
  • 水冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)。
  • ATH-M 中型涡轮分子泵是半导体和涂料行业中的世界参考级产品。适用于全球轻型工艺中的大型安装基地到 DN200 和 DN250 法兰尺寸的苛刻工艺
配有5轴磁轴承的纯涡轮泵(无 Holweck 级),具备用于 N2的直至 2050 l/s 的吸气能力
  • 使用集成 OBC 电子驱动单元或外部 Magpower 电子驱动单元操作
  • 在任何方向安装
  • 水冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 专为使用轻质气体的应用而设计
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 2350 l/s 的吸气能力
  • 使用紧凑型泵集成控制器进行操作
  • 在任何方向安装
  • 水冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)。
  • 基于对 DN250 法兰尺寸的长期经验,ATH-M 大型涡轮分子泵已被引入硅基工业应用
带阻力级的 5 轴磁悬浮涡轮泵,氮气的抽气速度高达 3050 l/s
  • 使用集成的驱动电子装置运行
  • 在任何方向安装
  • 水冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)
  • 基于对 DN320 法兰尺寸的长期经验,ATH-M 大型涡轮分子泵已被引入硅基工业应用
配有5轴磁轴承的纯涡轮泵(无 Holweck 级),具备用于 N2的直至 2050 l/s 的吸气能力
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 550 l/s 的吸气能力
  • 紧凑型集成驱动电子装置
  • 在任何方向安装
  • 水冷或风冷
  • CE 标记/完全符合 RoHS
  • 可用于腐蚀性应用的加热款型 (MT)。
  • 最紧凑的磁悬浮泵,带有集成电子控制器,提供 DN100 和 DN160 入口法兰。
这里您可以找到关于ATH M和ATP M系列涡轮泵的配件和驱动电子设备的信息。

磁悬浮涡轮分子泵

电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”,其转子位置会被不间断的监测和自动调整,并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时,这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。

5轴磁悬浮涡轮分子泵

技术上的完美杰作

HiPace M和ATH 500 M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术,转子 的位置能被实时控制。在工作中,动平衡装置会进行自动校准,可 以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已?我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择,从而满足各种不同界 面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP* M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术,我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性,同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位,此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。

* ATP = no Holweck stage

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