氦的气流量 |
> 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
氩气抽气速率 |
1280 l/s |
氩气的前真空最大值 |
2.5 百帕 |
氩气的压缩比 |
> 1 · 108 |
氩的气流量 |
20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s |
氮的气流量 |
67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
氮气的压缩比 |
> 1 · 108 |
泄漏率 |
< 5 · 10-8 hPa l/s | < 3.75 · 10-8 Torr l/s | < 5 · 10-8 mbar l/s |
烘烤温度 |
最大值120 摄氏度 |
环境温度 |
5 – 45 摄氏度 |
用于氢气的前真空最大值 |
0.3 百帕 |
用于氮气的抽气速度 |
1360 l/s |
电源接头 |
200 – 240 (±10%) V AC - 50/60 Hz |
转速 ± 2 % |
39,000 rpm | 39,000 min-1 |
轴承 |
磁铁 |
运行地点 |
室内,防风雨 |
连接法兰(入口) |
DN 200 CF-F |
连接法兰(出口) |
DN 40 ISO-KF |
适用于氮气的前级真空最大值 |
1.7 百帕 |
重量 |
42 千克 |
防护等级 |
IP42 |
集成电源包 |
是 |