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P6563103
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ATH 1600 MT,DN 200 ISO-F,外部驱动电子装置,水冷,加热
订单号: P6563103

  • Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸气能力
  • 连接法兰 DN 200 ISO-F
  • 使用外部 Magpower 电子驱动单元操作
  • 用于在所有情况下的安装
  • 水冷,加热
  • 带有CE标志且符合 RoHS 标准
75°C 温度下,加热泵最高转速时的氢气流量 > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s
75°C 温度下,加热泵最高转速时的氩气流量 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s
75°C 温度下,加热泵最高转速时的氮气流量 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s
I/O 接口 通过外部驱动电子装置
不含气镇装置的最终压力 < 6 · 10-9 百帕
冷却水流量 60 l/h
冷却水温度 15 – 25 摄氏度
冷却类型
分离电子驱动单元
启动时间 < 6 分
声压水平 ≤48 分贝 (A)
安装方向 随意
工作电压:50/60Hz 200 – 240 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC
最大冷却水流量 60 l/h
最大耗电量 650 瓦
最小冷却水流量 60 l/h
最终压力 < 6 · 10-9 百帕
最终压力下的功耗 300 瓦
氢气抽气速度 540 l/s
氢气的压缩比 > 5 · 102
氢气的气流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
氦气的压缩比 > 4 · 103
氦气的抽气速率 940 l/s
氦的气流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
氩气抽气速率 1280 l/s
氩气的压缩比 > 1 · 108
氩的气流量 20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s
的气流量 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s
氮气的压缩比 > 1 · 108
用于氮气的抽气速度 1360 l/s
电子驱动单元 外部驱动电子设备
腐蚀性气体型
转速 ± 2 % 39,000 rpm | 39,000 min-1
轴承 磁铁
连接法兰(入口) DN 200 ISO-F
连接法兰(出口) DN 40 ISO-KF
适用于氮气的前级真空最大值 2.2 百帕
重量 34 千克
颗粒吸入

尺寸-TIM-RS

H
316.9 毫米

曲线-TIM-RS-2

曲线-TIM-RS-1

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