ATH 500 M，DN 100 ISO-F，Profibus，水冷，非加热
订单号: VY362100
- Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 350 l/s 的吸气能力
- 连接法兰 DN 100 ISO-F
- 紧凑型集成驱动电子设备
- 用于在所有情况下的安装
- Profibus，水冷，不加热
- 带有CE标志且符合 RoHS 标准
ATH 500 M，DN 100 ISO-F，Profibus，水冷，非加热
| 2707-Operating voltage: V DC | 48 (± 5 %) V DC |
| Ar 的压缩比 | > 8 · 106 |
| Ar 的抽速 | 320 l/s |
| Ar 的气体流量 | 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s |
| H2 的压缩比 | > 2 · 102 |
| H2 的抽速 | 170 l/s |
| H2 的气体流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
| He 的压缩比 | > 1 · 104 |
| He 的抽速 | 310 l/s |
| He 的气体流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
| I/O 接口 | Profibus |
| N2 的压缩比 | > 2 · 107 |
| N2 的抽速 | 350 l/s |
| N2 的最大预真空 | 2.6 百帕 |
| N2 的气体流量 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
| 不带气镇的最终压力 | < 1 · 10-8 百帕 |
| 允许冷却水的温度 | 15 – 25 °C 摄氏度 |
| 冷却水消耗最小值 | 60 l/h |
| 冷却水耗量 | 60 l/h |
| 冷却类型，可选项 | 空气 |
| 冷却类型，标准 | 水 |
| 声压水平 | ≤42 dB(A) 分贝 (A) |
| 安装方向 | 任何 |
| 方位 | 配有磁轴承 |
| 最终压力 | < 1 · 10-8 百帕 |
| 最终压力时的功率消耗 | 100 瓦 |
| 电子驱动单元 | 集成驱动电子设备 |
| 耗电量 max. | 560 瓦 |
| 转速 ± 2 % | 50,000 rpm | 50,000 min-1 |
| 运行时间 | < 2 分 |
| 连接法兰（入口） | DN 100 ISO-F |
| 连接法兰（出口） | DN 25 ISO-KF |
| 重量 | 17 千克 |
- H
- 294.5 毫米
保护
用于 DN 100 的不锈钢入口滤网套件 118001 电缆
电源电缆/电源线
电源线 2.0 m 欧洲标准 200–240 V AC 48 VDC 电源（用于 ATH500M） 103566 电源线 2.0 m 美国标准 200–240 V AC 48 VDC 电源（用于 ATH500M） 103567 电源线 3.5 m 48 V DC（用于 ATH 500 M） A331328-035 阀
屏蔽的密封气体阀（常闭）
带 O 型圈的泄油栓塞（用于 ATH 500 M） 115298S 冲洗阀套件 24 DVC（用于 ATH 500 M） 115303S 放气
排气阀（用于 ATH 500 M） 200043 控制装置
电源和控制显示器
带电缆的手持遥控器 (HHR) 114461 ATH 500 M/MT 的外部电源 114866 冷却
空气冷却套件（用于 ATH 500 M） 118543S
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 数据表 | ZH | 2020-06-04 | ~ 603.5 KB | ||
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