Ar 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量 |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
Ar 的压缩比 |
> 1 · 1011 |
Ar 的抽速 |
660 l/s |
Ar 的最终转速时的气体流量 |
8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
H2 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量 |
9 hPa l/s | 6.75 Torr l/s | 9 mbar l/s |
H2 的压缩比 |
2 · 105 |
H2 的抽速 |
480 l/s |
He 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量 |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
He 的压缩比 |
> 1 · 107 |
He 的抽速 |
600 l/s |
I/O 接口 |
RS-485, 远程, DeviceNet |
N2 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量 |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
N2 的压缩比 |
> 1 · 1011 |
N2 的抽速 |
685 l/s |
N2 的最大预真空 |
8 百帕 |
N2 的最终转速时的气体流量 |
13 hPa l/s | 9.75 Torr l/s | 13 mbar l/s |
不带气镇的最终压力 |
1 · 10-7 百帕 |
允许冷却水的温度 |
15 – 35 摄氏度 |
允许的最高径向磁场 |
5 mT |
冷却水消耗最小值 |
80 l/h |