密封气体
密封气体阀和节流阀仅用作普发真空泵的惰性气体入口，保护电机和轴承免受腐蚀介质侵蚀。
屏蔽的密封气体阀（常闭）
密封气体节流阀
| 泵 | 电子驱动单元 | 大气压下的气体流量 [sccm (0 °C)] | 机械连接 | 型号名称 | 零件编号 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HiPace 30/60/80 | 7.5 – 9.5 | G 1/8" | 密封气体节流阀 | PM Z01 316 | ||
| HiPace 300 – 800 | 12.5 – 15 | G 1/8" | 密封气体节流阀 | PM Z01 317 | ||
| HiPace 400/700/800P | HiPace 1200 – 2300 | 17.5 – 20 | G 1/8" | 密封气体节流阀 | PM Z01 318 | ||
| HiPace 1200 – 2300 | 22 – 27 | G 1/8" | 密封气体节流阀 | PM Z01 319 | ||
| HiPace 1200 – 2300 | 45 – 60 | G 1/8" | 密封气体节流阀 | PM Z01 325 | ||
密封气体节流阀
| 泵 | 电子驱动单元 | 大气压下的气体流量 [sccm (0 °C)] | 机械连接 | 型号名称 | 零件编号 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HiPace 300 – 2300 | HiPace 300 M – 800 M | TC 400 | TC 1200 | TM 700 | G 1/8" | 密封气体监测单元 | PM 016 911 -U | ||
