Pfeiffer Vacuum

EVR 116,气体调节阀,机动化

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概述
  • 气体通过量大
  • 非常大的调节范围
  • 带集成的电机控制电子装置

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PF I39 931
订单号: PF I39 931 A
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技术参数
774-Operating pressure min. 1 · 10-8 百帕
供电:最大消耗 12 瓦
关闭/开启时间 < 3 / 4 s
加热温度:外壳 80 摄氏度
加热温度:驱动 60 摄氏度
型号 气体调节阀
外壳/针/过滤器 不锈钢
密封 FKM
控制 RVC 300 或 IF 200
最大可控气流 1.25 · 103 hPa l/s | 9.38 · 102 Torr l/s | 1.25 · 103 mbar l/s
最大工作压力: 2500 hPa(绝对值)
最小可控气流 5 · 10-6 hPa l/s | 3.75 · 10-6 Torr l/s | 5 · 10-6 mbar l/s
环境温度 5 – 40 摄氏度
紧张 1 · 10-10 Pa m³/s
配量套筒 氟化塑性体
重量 0.75 千克
配件
用于 EVR 116 的接口
连接电缆 RVC-EVR/RME
尺寸

尺寸图-TIM-RS

产品特性

曲线-TIM-RS-1

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文件名 类型 语言 日期 文件大小 Action
数据表 PDF ZH 2018-04-20 ~ 213.1 KB 下载

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