XYZ 轴操纵器
机械手和机械馈通用于允许在从粗真空到高精度真空的范围内运动。
产品
- 用于精确 3 轴操作的紧凑型设计
- Z 轴：再循环滚珠轴承导轨和再循环滚珠丝杠驱动
- XY轴：精密十字接头滚柱导轨
- 零背隙，无滑粘效应
- 导轨和驱动均为无磨损、免维护
- 极其稳定的设计理念最大限度地减少了由于压力变化引起的位置偏移
- 带大旋钮的 XY 轴测微螺旋 - 易于操作，且易于读取
- Z 轴制动器可防止独立运动
- 带通孔的连接法兰，带螺纹孔的可移动法兰
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