XYZ 轴精密操纵器

  • XYZ-Axis Precision Manipulator
  • 尺寸-TIM-RS

客户价值

  • 最高精度和卓越的再现性
  • 超长使用寿命
  • 高可靠性
  • 简便且符合人机工程学的操作性能

产品描述

  • XY 轴:精密交叉滚子导轨
  • 无间隙,无粘滑效应
  • 导轨和驱动装置无磨损,不需维护
  • 极为坚固的结构能够在压力变化时使位置偏移最小化。
  • 带有便于操作和读数的大转轴的XY轴螺旋测微器
  • 用于 Z 轴的锁紧制动器防止了自行移动
  • 带有贯通孔的连接法兰,带有螺纹孔的过程法兰
  • 用于精确3轴调节的紧凑结构
  • Z轴:滚珠丝杠驱动的滚珠轴承导轨

X/Y 轴行程: +/- 12.5 mm

  • 内径: 38 mm
  • 决议: 5 µm
  • 准确性: < 5µm (XY轴)
  • 压力范围: 1 · 10-10 hPa 至环境压力
  • 安装方向: 随意
  • 烘烤温度: 230 °C
  • 物料: 波纹管:316L 不锈钢,法兰和管:304L 不锈钢,外壳:304 不锈钢,XY 单元:阳极氧化铝
  • 球螺纹驱动的上升: 2 mm/转
  • 紧张: < 1 · 10-11 Pa m³/s
  • 重复准确性: 5 µm

注意

  • 选项:其他Z轴冲程长度,根据客户需求负载进行的有限元分析

注意

法兰依照 ISO 3669 在额定宽度 DN16 至 DN250 范围内,且与 ISO/TS 3669-2 兼容

Your local contact
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

+1 (800) 248-8254
+1 (888) 658-7983
write message