XYZ 轴精密操纵器

  • XYZ-Axis Precision Manipulator
  • 尺寸图-TIM-RS

客户价值

  • 最高精度和卓越的再现性
  • 超长使用寿命
  • 高可靠性
  • 简便且符合人机工程学的操作性能

产品描述

  • 用于精确3轴调节的紧凑结构
  • Z轴:滚珠丝杠驱动的滚珠轴承导轨
  • XY 轴:精密交叉滚子导轨
  • 无间隙,无粘滑效应
  • 导轨和驱动装置无磨损,不需维护
  • 极为坚固的结构能够在压力变化时使位置偏移最小化。
  • 带有便于操作和读数的大转轴的XY轴螺旋测微器
  • 用于 Z 轴的锁紧制动器防止了自行移动
  • 带有贯通孔的连接法兰,带有螺纹孔的过程法兰

X/Y 轴行程: +/- 12.5 mm

  • 内径: 38 mm
  • 决议: 5 µm
  • 准确性: < 5µm (XY轴)
  • 压力范围: 1 · 10-10 hPa 至环境压力
  • 安装方向: 任何
  • 烘烤温度: 230 °C
  • 物料: 波纹管:316L 不锈钢,法兰和管:304L 不锈钢,外壳:304 不锈钢,XY 单元:阳极氧化铝
  • 球螺纹驱动的上升: 2 mm/转
  • 紧张: < 1 · 10-11 Pa m³/s
  • 重复准确性: 5 µm
公称通径 A [毫米] B [毫米] C [毫米] D [毫米] E [毫米] F [毫米] 提升位移 [毫米] X/Y 偏差 [毫米] 订单号
DN 40 CF 210 – 310 400 82 321 63.5 232 100 ± 12.5 420MXYZ040-100
DN 40 CF 210 – 360 450 82 321 63.5 232 150 ± 12.5 420MXYZ040-150
DN 40 CF 225 – 425 515 82 321 63.5 232 200 ± 12.5 420MXYZ040-200
DN 40 CF 250 – 550 640 82 321 63.5 232 300 ± 12.5 420MXYZ040-300
DN 40 CF 280 – 680 770 82 321 63.5 232 400 ± 12.5 420MXYZ040-400

注意

  • 选项:其他Z轴冲程长度,更多循环次数的波纹管,单轴或全轴机动,Z轴主轴公差等级 IT3 或 IT1(标准 IT5),根据客户需求负载进行的有限元分析

注意

法兰依照 ISO 3669 在额定宽度 DN16 至 DN250 范围内,且与 ISO/TS 3669-2 兼容

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