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俄歇电子能谱仪 (AES) 越来越多地用于固体表面的化学分析。典型的应用领域包括识别半导体的缺陷、晶界化学、失效分析、互扩散、断裂机制和表面/界面杂质测定。

应用要求

  • 低振动
  • 高可靠性
  • 低能耗

它是如何工作的?
俄歇电子能谱是一种非常敏感的测量方法,用于获取样品表面基本成分的信息。如果原子被高能电子束或 X 射线照射引起激发,则接近电子核的电子将被浸出。 要使原子回到基态,有两种不同的过程。一种是,来自更高电子壳层的电子落入离开的电子留下的孔中。在此过程中释放的能量是典型的 X 射线,以光子的形式发射。另一种可能性是能量可以传输到另一个电子,然后电子将从原子中释放出来。这个过程称为俄歇效应,由发现者皮埃尔·俄歇命名。俄歇电子的能量取决于原子及其在固体中的连接状态。 所得到的信息可以为您提供关于样本成分的结论。
俄歇电子能谱仪的主要部件是分析器,用它可以测量从样品中释放的电子。通常使用半球形分析器。它有两个同心安装的半球,具有不同的电子势能。电子在两个半球之间切向运行时,只有具有特定能量的电子才能通过分析器。这种能量可以通过调整半球的电子势能而变化,因此可以测量较大范围的电子能量谱。在替代测试方法里,势能能量保持不变,电子因样品和分析器之间的反向电压而减慢。通常情况下会将两种方法并用。为了激发样品,通常使用扫描电子显微镜,同时可以收集样品表面的图片。

产品系列
鉴于低振动的要求,普发真空 HiPace Plus 系列成为俄歇电子能谱仪的最佳解决方案。HiPace Plus 的振动水平显著低于标准涡轮泵。普发真空还可以为您提供专门研制的隔振器,进一步降低振动水平。对于前级泵,我们可以提供多种干式解决方案。您可以任意选择我们的干式隔膜泵、多级罗茨泵亦或最新开发而成的涡旋泵。我们还有不同的真空计,为您提供量身定制的真空解决方案。

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