SEM

扫描电子显微镜 (SEM) 是一项应用范围广泛的分析技术。科学家利用其了解更多有关微生物或晶体结构的信息。在工业生产过程中,也将 SEM 用于组件和产品的表面成分检测。其应用范围囊括半导体行业、食品监控、医疗设备、微电子以及一般性生产监控。

应用要求

  • 低振动
  • 高可靠性
  • 低能耗

它是如何工作的?
在此类型的电子显微镜中,电子束对样品进行光栅式扫描。首先,真空柱顶端的电子源产生电子。当电子的热能克服源材料的逸出功时,电子被发射而出。然后,它们被加速并被带正电的阳极吸引。整个电子柱必须处于真空条件下。如同电子显微镜的所有组件一样,电子源被密封在一个特殊的腔室内,通过这种方式保持真空并防止其受到污染、振动或噪音。真空在保护电子源不受污染的同时,也使用户获得高分辨率图像成为可能。如果缺少真空,则电子柱中可能出现其他原子和分子。它们与电子的相互作用将导致电子束出现偏转并降低图像质量。此外,高真空还可以提高真空柱中的探测器对电子的收集效率。

产品系列
鉴于低振动水平的要求,HiPace Plus 系列成为电子显微镜的最佳解决方案。HiPace Plus 的振动水平显著低于标准涡轮泵。普发真空还可以为您提供专门研制的隔振器,进一步降低振动水平。出于对前级泵的需要,普发真空提供了各种干式解决方案,包括干式隔膜泵、多级罗茨泵以及我们最新开发而成的旋涡泵。同时,也可安装各式真空计,以此为您提供量身定制的真空解决方案。

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