TEM

透射电子显微镜 (TEM) 用于医学生物学、生命科学、材料研究,冶金和工业等各种应用领域。TEM 能够提供有关研究对象结构和织构的信息。它可以用于在半导体市场中进行计算机与硅晶片生产和制造的分析。此外,也可以用在工业应用中检测晶体和金属。它们检验制造成品,以识别微观范围内的缺陷、断裂和损坏。

应用要求

  • 低振动
  • 高可靠性
  • 低能耗

它是如何工作的?
其顶部为两个电极,一个阳极和一个阴极。阳极带正电,阴极带负电。阴极采用一根细导线/细丝发射电子。向细丝施加电压时,电子被发射出并吸引到阳极。阳极是一个中间带有细小孔隙的圆盘,电子可从孔隙中穿过。电压介于 70kV 和 120kV 之间。因此,电子可以少量地穿过 TEM 障碍,且显微镜内部必须保持真空。磁场对 TEM 内部的电子束进行控制。该磁场通过若干线圈产生。线圈同样能够会聚电子束,使其以高强度集中到样品上。在此,使用一个光阑调节电子束的强度。也可以在该处改变穿行电子的照度。当电子穿过样品后,另一个光阑能够在电子被附加线圈会聚之前减少其数量。这一步骤的必要性在于,部分电子会在穿过样品后发散。之后,电子穿过投影镜。电子束在此处放大,使样品能够清晰成像。

产品系列
鉴于低振动的要求,普发真空 HiPace Plus 系列成为电子显微镜的最佳解决方案。HiPace Plus 的振动水平显著低于标准涡轮泵。普发真空还可以为您提供专门研制的隔振器,进一步降低振动水平。针对前级泵,我们提供了多种干式解决方案。您可以任意选择我们的干式隔膜泵、多级罗茨泵亦或最新开发而成的涡旋泵。我们同时提供了各类真空计,为您满足量身定制的真空解决方案。

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