TEM

透射电子显微镜 (TEM) 用于医学生物学、生命科学、材料研究，冶金和工业等各种应用领域。TEM 能够提供有关研究对象结构和织构的信息。它可以用于在半导体市场中进行计算机与硅晶片生产和制造的分析。此外，也可以用在工业应用中检测晶体和金属。它们检验制造成品，以识别微观范围内的缺陷、断裂和损坏。

应用要求

• 低振动
• 高可靠性
• 低能耗

它是如何工作的？
其顶部为两个电极，一个阳极和一个阴极。阳极带正电，阴极带负电。阴极采用一根细导线/细丝发射电子。向细丝施加电压时，电子被发射出并吸引到阳极。阳极是一个中间带有细小孔隙的圆盘，电子可从孔隙中穿过。电压介于 70kV 和 120kV 之间。因此，电子可以少量地穿过 TEM 障碍，且显微镜内部必须保持真空。磁场对 TEM 内部的电子束进行控制。该磁场通过若干线圈产生。线圈同样能够会聚电子束，使其以高强度集中到样品上。在此，使用一个光阑调节电子束的强度。也可以在该处改变穿行电子的照度。当电子穿过样品后，另一个光阑能够在电子被附加线圈会聚之前减少其数量。这一步骤的必要性在于，部分电子会在穿过样品后发散。之后，电子穿过投影镜。电子束在此处放大，使样品能够清晰成像。

产品系列
鉴于低振动的要求，普发真空 HiPace Plus 系列成为电子显微镜的优秀解决方案。HiPace Plus 的振动水平显著低于标准涡轮泵。普发真空还可以为您提供专门研制的隔振器，进一步降低振动水平。针对前级泵，我们提供了多种干式解决方案。您可以任意选择我们的干式隔膜泵、多级罗茨泵亦或新开发而成的涡旋泵。我们同时提供了各类真空计，为您满足量身定制的真空解决方案。