等离子体物理

等离子体被称作物质的第四态。它是一种离子化气体,其带电粒子的百分比可在 1 到 100 % 之间不等。对于现代生活所需的产品,等离子体工艺至关重要。在诸如微控制器等半导体装置的生产以及薄膜涂层应用中的多道工艺步骤均需要借助等离子体工艺完成。对真空的需要源自于实验环境中对足够的原子或分子平均自由程以及高纯度的需求。在大部分应用中,现行的等离子体溅射工艺在中真空至高真空条件下进行:p = 10-2 至 1 Pa。为了在导入氩气等溅射气体之前保持高纯度,经常需要将处理腔室抽至超高真空:p < 10-5 Pa。

应用案例

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