前级泵对真空系统的影响

 

在许多应用中,影响真空系统极限压力的主要因素是所使用高真空 泵的参数。但是真空系统的特性不仅由高真空泵决定,在很大程度 上也由前级泵和整个泵组内部的兼容性决定。

真空泵或泵组支撑由真空系统发出的气流。如果在真空工艺中加入 了工艺气体,则气流量由该工艺气体流量决定。相反,如果真空系 统在没有添加工艺气体的情况下应该达到低端压力,则气体吞吐量 主要由从真空系统内表面排放的气体确定。

用于确保 ACP 前级泵和 HiPace 涡轮分子泵的组合合格的 测试设置
用于确保 ACP 前级泵和 HiPace 涡轮分子泵的组合合格的 测试设置

选择合适的前级泵
如果要为泵组选择前级泵,则泵产生的压力必须小于所使用高真空 泵的最大前真空压力。这个最大前真空压力可以在每个涡轮分子泵 的规格中找到,其命名包括“前真空最大值”、“最大前真空”或“前压” 。有 Holweck 级的现代涡轮分子泵可以在大于 20 mbar 的高前真 空压力下运行,具体依其结构类型和制造商而定。因此,从所提供 的标准前级泵中选择泵的可能性几乎是无限制的。这并不对标准前 级泵的选择构成限制。许多前级泵都可以产生直排大气的这种前真 空压力,例如油润滑旋片泵、紧凑隔膜泵或高性能干泵。

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