检查镀膜系统的密封性

 

安装新系统或维护现有系统后,经常发生泄漏。这通常是由于连接 错误或忘记密封或密封不严。氦气检漏仪的正确使用对于发现泄漏 和检查设备的紧密性至关重要。对于泄漏测试的物理原理以及测试 过程中的优化可能性了解得越多,越容易在实践中使用氦气检漏 仪。这也让测量结果更可靠。以下概述提供了关于氦气检漏仪的正 确使用和真空系统泄漏测试成功实施的实用信息。

将检漏仪连接到镀膜系统时需要考虑什么?
真空设备调试或维护之后出现的泄漏往往规模很大。然而自一定泄 漏规模以上,市场上常见的氦气检漏仪便无法继续使用。此类设备 最大工作压力通常在约 6 至 25 mbar 之间。如果存在大量泄漏, 抽真空时即有可能无法达到此压力。在某次维护之后,抽真空时只能达到 80 mbar 的压力。为了在如此高的工作压力之下依然能够进行泄漏检测,可 使用普发真空 ASM 340 检漏仪的一种定性大量泄漏检测模式。借 助此模式即可定位存在的泄漏点。

将氦气检漏仪集成到镀膜系统中
将氦气检漏仪集成到镀膜系统中

支持检漏仪的工艺泵
如图 1 和图 2 所示,最好将检漏仪连接到真空系统的前级真空 端。检漏仪设计用于洁净环境。为了保护其免受由于在泵出过程期 间的压缩热而产生的严重的热应力,还可以使用额外的工艺泵。它 对热应力不敏感,并且也能抽出所有的气体、蒸气和任何搅起的颗 粒。

使用额外的工艺泵可以提高检漏仪的可用性,并显著延长维护周 期。这会大大降低运营成本。

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