Vakuummeter für die Totaldruckmessung
Für jede Anwendung das passende Vakuummeter – in Abhängigkeit von Druckbereich und physikalischem Messprinzip nach erforderlicher Genauigkeit ausgewählt, mit optimierendem Zubehör versehen und reibungsfreier Kommunikation über bevorzugte Schnittstellen.
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
Auswahl des richtigen Vakuummessgeräts für Ihre Anwendung
Jedes Vakuummessgerät basiert auf einem anderen physikalischen Prinzip und ist für bestimmte Anwendungen besser geeignet als für andere. Der Druckbereich eines Vakuummeters wird durch das verwendete Messprinzip sowie die Konstruktion und den Aufbau des Messgeräts bestimmt.
Die Kriterien für die Auswahl des Vakuummeters richten sich neben dem zu detektierenden Druckbereich nach unterschiedlichen Rahmenbedingungen:
Messbereich
Geforderte Genauigkeit
Gaszusammensetzung (inert oder korrosiv)
Umgebungsbedingungen wie z. B. ionisierende Strahlung, starke Magnetfelder
Art der Schnittstelle (analoges oder digitales Signal)
Neben den eigentlichen Messgeräten gibt es Zubehör, das die Handhabung wie Anzeige, Auswertung und Dokumentation vereinfacht. Grundsätzlich kann mit Messröhren stets nur der Totaldruck ermittelt werden, für Partialdrücke werden Massenspektrometer eingesetzt.
:grayscale(false):format(png))
In welchem Druckbereich möchten Sie den Totaldruck mit welcher Genauigkeit messen?
Soll lediglich ein Prozesszustand mit einem kleinen Druckbereich überwacht werden, kann entsprechend der folgenden Auflistung ein Messprinzip anhand des Druckbereichs ausgewählt werden. Ebenfalls sind die entsprechenden Genauigkeiten sowie die Reproduzierbarkeit mit aufgelistet. Je nachdem, wie exakt die Messungen sein müssen, variieren die Anforderungen an die Genauigkeit und damit auch die Kosten des Messgeräts.
Pirani-Messprinzip
Messprinzip: Thermische Leitfähigkeit von Gasen
Druckbereich: Grobvakuum bis Hochvakuum (1 · 103 bis 1 · 10-4 hPa)
Genauigkeitsanforderung: Niedrig bis mittel
Optimierung von Vakuumsystemen durch strategische Kombinationen von Messprinzipien
Für größere Bereiche kann es in einigen Vakuumsystemen erforderlich sein, mehrere Arten von Vakuummetern mit gleichen und/oder unterschiedlichen Messprinzipien zu kombinieren. Dies kann entweder umgesetzt werden, indem man mehrere einzelne Messröhren in ein System integriert, oder indem man mit Kombinations-Messröhren arbeitet. So lässt sich je nach Bedarf und Kombination die gewünschte Genauigkeit in den entsprechenden Druckbereichen ermitteln, um eine Kontrolle über den gesamten Prozessverlauf, vom Evakuieren der Kammer bis zum späteren Fluten, zu erzielen. Verfügbar sind die Kombinationen Piezo/Pirani, Pirani/Kapazitiv, Pirani/Heißkathode und Pirani/Kaltkathode.
Verfügbare Flanschformen: Am häufigsten kommen ISO-KF (Standard) und auch CF-Flansche zum Einsatz. Teilweise sind die Messröhren mit leicht sterilisierbarem TriClamp-Flansch, VCR oder Gewinde verfügbar. Außerdem sind je nach Anwendungstemperaturen Vakuummeter mit verlängertem Flansch erhältlich, die den Abstand zur Temperatur vergrößern.
Wie möchten Sie Ihr Vakuummessgerät auswerten?
Vakuummeter arbeiten, indem sie Druckänderungen erkennen und diese Änderungen in elektrische Signale umwandeln, die vom Benutzer interpretiert werden können. Es gibt zwei Arten von Signalen, die Vakuummeter erzeugen können: analoge und digitale Signale. Neben den Auswertesignalen gibt es verschiedene Schnittstellen , die Auswahl beider hängt von den spezifischen Anwendungsanforderungen ab. Ist ein Echtzeit-Datenaustausch notwendig, werden mehrere Messgeräte integriert, steht die Benutzerfreundlichkeit im Vordergrund?
Dabei sollte auch die benötigte Hard- und Software sowie die Komplexität und der Wartungsaufwand der Schnittstelle berücksichtigt werden.
Die beiden Standardgerätereihen DigiLine und ActiveLine sind aktive Vakuummeter, das heißt die Elektronikkomponenten befinden sich im gleichen Gehäuse wie die eigentliche Messausrüstung.
:grayscale(false):format(png))
DigiLine: Geräte mit digitalem Signalausgang
Die DigiLine Transmitter sind für Industrie- und Forschungsanwendungen konzipiert, die eine einfach zu installierende und zuverlässige Messung des Totaldrucks erfordern. Die Baureihe deckt mit den Messprinzipien Piezo-, Pirani-, Kapazitiven-, Heißkathoden- und Kaltkathoden-Sensoren den technisch interessanten Vakuumbereich ab. Alle Transmitter besitzen eine RS-485 Schnittstelle über die bis zu 16 Messstellen an eine Steuerung angeschlossen werden können.
ActiveLine: Geräte mit analogem Signalausgang
Die ActiveLine Baureihe bietet eine große Auswahl an Vakuummetern mit unterschiedlichen Messprinzipien und klassischem Analogausgang. Die Reihe deckt damit das technisch interessante Vakuum vom Ultrahochvakuum bis zum Überdruckbereich ab. Die druckproportionale Ausgangsspannung der Transmitter kann durch die drei Steuergeräte als Druck zur Anzeige gebracht oder über Analogeingänge zur Weiterverarbeitung in Steuerungsanlagen eingelesen werden.
Vakuummeter für spezielle Anforderungen
Es gibt spezielle Anforderungen, die so häufig vorkommen, dass es hierfür eigene Modellreihen bei Pfeiffer Vacuum gibt. Dazu zählen unter anderem Passive Vakuummeter.
ModulLine für die Totaldruckmessung in Bereichen mit ionisierender Strahlung
Diese Messröhren enthalten keine Elektronik, wodurch sie unter anderem zum Einsatz an Orten mit hoher Strahlenbelastung geeignet sind.
Handmessgeräte und Manometer für den netzunabhängigen Einsatz
Handmessgeräte mit Display. Das TPG 201 arbeitet nach dem Wärmeleitungsprinzip (Pirani). Das TPG 202 besitzt zusätzlich einen piezo-resistiven Druckaufnehmer für den oberen Druckbereich.
Integrierte Sensoren zur Systemintegration
Egal ob man ein Vakuummessgerät in ein komplexes System integrieren möchte oder eine einzelne Pumpe überwachen: die integrierten Sensoren bieten einen geringen Platzbedarf und eine einfache Verbindung zur Pumpenelektronik an.
Vielfältige Filamentoptionen für optimale Leistung des Vakuummessgeräts
Je nachdem, in welcher Atmosphäre die Messröhre eingesetzt wird, können Heizfäden aus unterschiedliche Materialien eine unterschiedliche Lebensdauer erreichen. Wir bieten daher verschiedene Versionen bei den relevanten Vakuummetern an, zum Beispiel aus Nickel, Wolfram, Wolfram/Iridium mit Yttriumoxidbeschichtung (Y2O3) oder Platin/Rhodium. Sie wissen nicht, was bei Ihnen am besten funktioniert? Sprechen Sie uns einfach an.
Maßgeschneiderte Lösungen für einzigartige Bedürfnisse
Um auf die Wünsche unserer Kunden einzugehen, bieten wir auch einige Messgeräte an, die nicht in unsere Standard-Serien passen. Dazu gehören zum Beispiel die CLR-Messröhren vom Typ CLR 39x, die speziell für den Einsatz an dampfsterilisierbaren Gefriertrocknern ausgelegt sind. Der Sensor der temperaturgeregelten kapazitiven Vakuum-Messröhren wird auf konstant 160 °C geheizt, was eine sehr genaue Druckmessung im Bereich von 10 hPa bis 1 · 10-3 hPa ermöglicht. Diese Messröhren werden über SPS gesteuert, und sind optional mit leicht sterilisierbarem TriClamp-Flansch verfügbar.
Pakete mit allem, was man für den Betrieb von Vakuummetern benötigt
Komplette Messausrüstungen bestehen aus Transmitter, Steuergerät sowie Kabeln. Letztere gibt es in verschiedenen Standardlängen und sind für verschieden Temperaturbereiche geeignet. Die zur Messröhre passende Auswahl finden Sie jeweils bei dem gewählten Produkt und auch über das Zubehör.
Wir bieten attraktive Pakete für die gängigsten Produkte an, aber auch eine individuelle Konfiguration ist möglich, etwa wenn Sie planen, zukünftig das System zu erweitern. Und sollten Sie allein nicht weiterkommen kontaktieren Sie gerne Ihren Ansprechpartner im Vertrieb, um Unterstützung bei der Auswahl der für Sie passenden Produkte zu erhalten.
Reinigung und Kalibrierung für zuverlässige Messwerte
Manche Vakuummeter verschmutzen stärker als andere, vorrangig durch den Prozess, in dem sie eingesetzt werden. Durch fachgerechte Reinigung kann man ihre Lebensdauer verlängern. Sie möchten wissen, wie das funktioniert? Informieren Sie sich in unserem Whitepaper.
Außerdem müssen Messmittel regelmäßig mit Normalen kalibriert werden, weil die Qualität eines Prozesses davon abhängt, wie genau die Messwerte eingehalten werden. So fordert es die Qualitätsmanagement-Norm ISO 9001. Hierfür bieten wir Kalibrierservice und Kalibrierpumpstände an, falls Sie die Kalibrierung selbst durchführen möchten.
:grayscale(false):format(png))
Whitepaper:
Wie reinigt man Vakuummessgeräte richtig?
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))