검사 및 계측

반도체 장비 제조가 단계 수의 증가와 함께 점점 더 복잡해짐에 따라 웨이퍼 검사 및 계량도 점점 더 중요해집니다. 기존 검사 및 계량 도구를 위한 진공 솔루션 외에도, 당사는 전면 개방 통합 포드(FOUP) 및 클린룸 환경 분석을 위한 혁신적인 직렬 공기 중 분자 오염(AMC) 시스템을 제공합니다. 당사의 AMC 시스템을 사용하는 경우, 생산 주기를 통해 웨이퍼를 분석하여 제조 수율의 증가를 이끕니다.

애플리케이션 보고서

당사의 애플리케이션 보고서에서 고객이 당사의 진공 솔루션을 사용하는 많은 애플리케이션에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다!