使用四极杆质谱仪进行气体和残余气体分析
谱法是一种广泛使用的分析方法，用于观察物质的化学成分。我们的（残余）气体分析设备均具有相同的核心：四极杆质谱仪 (QMS)。
:grayscale(false):format(png))
- 48 种可用变型
- 48 种可用变型
- 108 种可用变型
四极杆质谱仪 (QMS) 有多种配置和不同的外围设备，可以根据要求专门选择以适应应用领域。
设备选择的重要决策标准是：
压力范围和相关设计
分析性能（包括待检测质量、分辨率、检测限、测量速度）
基本上，分压是用质谱仪（也简称为RGA）测定的，而真空测量管则用于测量总压。只能测量气体 - 包括分析先前已蒸发的固体或液体物质。
压力范围对设计的影响
通过将待检查的气体抽出，在真空室中将其降至低压，并通过电子碰撞进行电离。以这种方式产生的离子在滤质器中根据质荷比进行分离。高真空是这些工艺的强制性要求。因此，要分析气体的压力范围通常也决定了设计：
:grayscale(false):format(png))
应用领域
如果我已经处于低压区域，因此处于分子流区域，则可能不需要进一步降低压力 - 取决于所需的精度。这称为真空系统中的残余气体分析。例如
，如果待检查的气体处于大气压力下，则需要组件来降低压力。这称为大气压下的气体分析。
施工
对于真空系统中的残余气体分析，通常不需要额外的泵，从而将压力降低至<5∙10-4 mbar。因此，使用所谓的独立组件，基本上只是质谱仪本身。
当分析所需的现有气体压力仍需要通过进气系统泵送来降低时，则使用完整的系统。
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
分析性能
没有一种通用质谱仪能够涵盖所有可能的应用。无论压力如何，初始条件和分析目标都会有所不同。因此，在选择设备之前，有必要明确要解决的分析任务并定义您想要使用设备实现的目标。需要考虑的要求主要包括以下标准。
a. 待检测质量
b. 解决
c. 检测限
d. 测量速度
让我们看看各个组件对分析性能的影响。一般规则也适用于质谱分析：精度与价格成正比。在某些用例中，需要考虑一些需要采取特定措施或特别注意的关键因素。
待检测质量
必须为应用领域找到哪些质量？应选择最小的合适质量范围。较小的质量范围可确保更好的灵敏度（信号）。
分辨率
分辨率可以根据应用领域进行调整，主要通过软件进行。它影响分离和信号高度。所谓的标准分辨率很常见。
测量速度
测量速度也可以根据分析任务进行调整，例如使用PrismaPro从最小 1毫秒到最长 16 秒。测量速度影响噪声量（信号和背景）。
检测限
检测限受灵敏度和峰重叠的影响。灵敏度还取决于所使用的检测器（法拉第与法拉第/SEM）的不同。
标准详情
探测器
根据工作压力，使用不同的检测器：
对于法拉第探测器 (F)，工作压力不需要像组合法拉第/C-SEM 探测器 (M) 那样低。然而，这对检测限有直接影响。确切的数字取决于停留时间和使用的离子源，这些可以在我们的手册中找到。
:grayscale(false):format(png))
可配置的 RGA 系统
每个测试任务都是不同的。除了标准的OmniStar / ThermoStar解决方案之外，我们的专家团队还可以使用全系列的普发真空产品，并使用它们来配置最适合您要求的系统。一个例子是我们称为OmniGrade的 RGA 清洁度验证系统。不仅选择四极杆质谱仪、真空泵、腔室和其他单个组件等单个组件，而且还考虑了定制交钥匙解决方案的总运营成本和交付时间。凭借我们的专业知识，我们可以帮助您获得所需精度的测试结果，同时最大限度地减少不必要的工作。
:grayscale(false):format(png))
软件和接口（以太网）
Mass Spec软件易于使用，在您购买设备时提供，并且还可以在线获取更新。我们的质谱仪还提供某些接口来直接与 PLC 通信。
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
收到设备后快速入门的视频。
硬件连接
以下硬件连接可用于集成我们的设备：PrismaPro配备 DN 40 CF 法兰、HiQuad Neo配有 DN 63 CF， OmniStar和ThermoStar均配有毛细管或合适的适配器1/4" / DN 16 ISO-KF，以满足各种应用的要求。
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))
:grayscale(false):format(png))