Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, lange Lebensdauer, maximale Verfügbarkeit
Leise
Niedrige Schalldruckpegel und Vibrationsniveaus dank patentierter Laser-Balancing-Technologie
Herausragende Leistung
Bestes Verdichtungsverhältnis für leichte Gase, perfekt geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Hochenergiephysik
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Ultrahochvakuum
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter
- Schwingungsdämpfer