AUGER

Die Augerelektronenspektroskopie (AES) kommt mehr und mehr bei der chemischen Analyse von Festkörperoberflächen zum Einsatz. Typische Anwendungsgebiete sind die Identifizierung von Defekten auf Halbleitern, Korngrenzenchemie, Fehleranalyse, Interdiffusion, Bruchmechanik und die Bestimmung von Unreinheiten in Oberflächen/Grenzflächen.

Applikationsanforderungen

• Vibrationsarm
• Hohe Zuverlässigkeit
• Geringer Stromverbrauch

Wie funktioniert es?
Augerelektronenspektroskopie ist eine sehr empfindliche Messmethode, mit der Informationen über die elementare Zusammensetzung der Oberfläche einer Probe gewonnen werden können. Wenn ein Atom mit einem hochenergetischen Elektronenstrahl oder Röntgenstrahlen angeregt wird, führt dies dazu, dass ein Elektron in der Nähe des Kerns entfernt wird. Um das Atom wieder in seinen Grundzustand zu bringen, gibt es zwei verschiedene Prozesse. Eine Möglichkeit ist, dass ein Elektron aus einer höheren Elektronenschale in das Loch fällt, das das entfernte Elektron hinterlassen hat. Die Energie, die dabei freigesetzt wird, kann in Form eines Photons und somit als Röntgenstrahlung abgegeben werden. Die andere Möglichkeit ist, dass die Energie auf ein anderes Elektron übertragen wird, das dann aus dem Atom freigesetzt wird. Dieser Prozess wird als Auger-Effekt bezeichnet, der nach seinem Entdecker Pierre Auger benannt ist. Die Energie eines Augerelektrons hängt vom Atom und seiner Einbindung in den Festkörper ab. Diese Informationen lassen Rückschlüsse auf die Zusammensetzung der Probe zu.
Die Hauptkomponente eines Augerelektronenspektroskops ist der Analysator, mit dem die aus der Probe freigesetzten Elektronen gemessen werden können. Hierzu werden häufig Halbkugelanalysatoren verwendet. Er verfügt über zwei konzentrisch eingepasste Halbkugeln mit unterschiedlichem elektrischem Potenzial. Wenn Elektronen tangential zwischen die beiden Hemisphären gelangen, können nur Elektronen mit einer bestimmten Energie den Analysator passieren. Diese Energie kann durch Anpassung des elektrischen Potentials der Hemisphären verändert werden, so dass ein großes Energiespektrum von Elektronen gemessen werden kann. Bei einem alternativen Prüfverfahren ist die potentielle Energie konstant, und die Elektronen werden durch die Umkehrspannung zwischen Probe und Analysegerät abgebremst. Beide Methoden werden oft zusammen angewendet. Um die Probe zu anzuregen, wird in vielen Fällen ein Rasterelektronenmikroskop verwendet, mit dem gleichzeitig ein Bild von der Oberfläche der Probe aufgenommen werden kann.

Produktportfolio
Die HiPace Plus-Turbopumpenserie von Pfeiffer Vacuum erweist sich aufgrund des erforderlichen niedrigen Vibrationsniveaus als beste Lösung für die Augerelektronenspektroskopie. Das Vibrationsniveau der HiPace Plus-Serie liegt deutlich unter dem von Standard-Turbopumpen. Um das Vibrationsniveau noch weiter zu reduzieren, stellt Pfeiffer Vacuum außerdem einen speziell entwickelten Vibrationsisolator zur Verfügung. Als Vorvakuumpumpe stehen verschiedene trockene Lösungen zur Verfügung. Sie haben die Wahl zwischen unseren ölfreien Membranpumpen, mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und den neu entwickelten Scrollpumpen. Weiterhin liefern wir eine breite Palette von Messgeräten für maßgeschneiderte Vakuumlösungen.