TEM

Die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) kommt in verschiedenen Anwendungsbereichen wie der Biomedizin, den Biowissenschaften, der Materialforschung, der Metallurgie und in der Industrie zum Einsatz. TEM kann Informationen über die Struktur und Textur des zu untersuchenden Objekts liefern. Auf dem Halbleitermarkt dient dieses Verfahren zur Analyse der Produktion und Entwicklung von Computer- und Silizium-Chips. Außerdem ist es bei der Untersuchung von Kristallen und Metallen in industriellen Anwendungen nützlich. Auf diese Weise können Fertigungsobjekte auf Fehler, Brüche und Schäden im Mikrobereich untersucht werden.

Applikationsanforderungen

• Vibrationsarm
• Hohe Zuverlässigkeit
• Geringer Stromverbrauch

Wie funktioniert es?
Oben befinden sich zwei Elektroden, eine Anode und eine Kathode. Die Anode ist positiv geladen und die Kathode negativ. Als Kathode wird ein dünner Draht/Filament verwendet, der/das Elektronen emittiert. Wenn eine Spannung an das Filament angelegt wird, werden Elektronen emittiert, die von der Anode angezogen werden. Die Anode ist als Scheibe mit einem kleinen Hohlraum in der Mitte ausgeführt, der für Elektronen durchlässig ist. Die Spannung liegt zwischen 70 kV und 120 kV. Dadurch gelangen weniger Elektronen in das TEM, in dessen Inneren ein Vakuum herrschen muss. Magnetfelder steuern den Elektronenstrahl im Inneren des TEM. Diese Magnetfelder werden von mehreren Spulen erzeugt. Die Spulen fokussieren auch den Elektronenstrahl, so dass er auf die Probe konzentriert wird. Um die Intensität des Elektronenstrahls zu regeln, wird eine Blende verwendet. An dieser Stelle kann die Leuchtkraft der vorbeiströmenden Elektronen verändert werden. Nachdem die Elektronen die Probe passiert haben, kann deren Menge mit einer weiteren Blende reduziert werden, bevor sie mit zusätzlichen Spulen wieder fokussiert werden. Dies ist notwendig, weil einige Elektronen nach dem Passieren der Probe abgelenkt werden. Danach passieren die Elektronen die Projektionslinsen. Dort wird der Elektronenstrahl geweitet, so dass die Probe schärfer abgebildet werden kann.

Produktportfolio
Die HiPace Plus-Reihe von Pfeiffer Vacuum ist aufgrund des erforderlichen niedrigen Vibrationsniveaus die beste Lösung für Elektronenmikroskope. Das Vibrationsniveau der HiPace Plus-Reihe liegt deutlich unter dem von Standard-Turbopumpen. Um das Schwingungsniveau noch weiter zu reduzieren, bietet Ihnen Pfeiffer Vacuum außerdem einen speziell entwickelten Vibrationsisolator an. Für eine Vorvakuumpumpe können wir verschiedene trockene Lösungen anbieten. Sie haben die Wahl zwischen unseren ölfreien Membranpumpen, mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und unseren neu entwickelten Scrollpumpen. Unser Portfolio umfasst auch verschiedene Messgeräte, um Ihnen eine maßgeschneiderte Vakuumlösung bieten zu können.