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Verschiedene Betriebsmittel und Vakuumöle für Ihre Prozesse

Betriebsmittel

Mineralöl oder Mischungen aus mineralischem und synthetischem Öl sind in den meisten Anwendungen ausreichend. Falls Dämpfe in der Pumpe kondensieren können, kann Öl mit Anti-Emulgator verwendet werden. Dadurch wird die Vermischung von Öl und Wasser in gewissen Grenzen vermieden. Doppeltdestillierte Mineralöle verringern die Ölrückströmung. Sie sind resistent gegen korrosive Gase und ionisierendes Plasma.
Perfluorpolyether-Schmierstoffe sind die chemisch stabilsten Betriebsmittel für Vakuumpumpen. Sie eignen sich zum Abpumpen von zum Beispiel Sauerstoff, Ozon, Halogenen, organischen und anorganischen Lösungsmitteln, HCL, BF3, HF, PO3 und Fluor.
Diester-Schmierstoffe sind für Temperaturen bis 120 °C geeignet. Sie sind resistent gegen leicht korrosive Medien wie z. B. geringe Konzentrationen von Lösungsmitteln. Zu beachten ist, dass der erreichbare Enddruck bei zweistufigen Pumpen in der Regel etwa eine Dekade höher ist als bei Verwendung von Mineralöl.

Pfeiffer Vacuum bietet verschiedene Betriebsmittel (Vakuumöle) für Drehschieberpumpen an. Durch das Verwenden von Betriebsmitteln, die zu Ihrem Prozess passen, kann sich die Standzeit der Pumpe erheblich erhöhen. Einfache Mineralöle decken Anwendungen ab wie das Pumpen von Luft oder Edelgasen, sowie Wasserdampf. Mehrfach destillierte Mineralöle widerstehen in anspruchsvollen Anwendungen auch chemischen Angriffen oder ionisierendem Plasma. Diester sind für Temperaturen von bis zu 120 °C geeignet. Perfluorpolyether (PFPE) sind chemisch inert und eignen sich für Prozesse in denen stark korrosive Chemikalien anfallen, z. B. in der Halbleiter- und Dünnschichtindustrie, sowie für Medien mit mehr als 21 % Sauerstoffanteil.
 

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