Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für anspruchsvolle korrosive Prozesse

Die ölfreien Prozesspumpen der XN-Serie sind so konstruiert, dass sie die Anforderungen der meisten korrosiven Prozesse erfüllen. Mit einem Saugvermögen von 600 bis 2.900 m3/h deckt die XN-Serie die Anforderungen der meisten Anwendungen ab, bei denen es auf Korrosionsbeständigkeit ankommt. Die innovative Technologie ermöglicht es, die Wartungshäufigkeit zu reduzieren und die Lebensdauer der Pumpen zu erhöhen. Betriebskosten und Ausfallzeiten werden erheblich reduziert.

Pumpen der XN-Serie sind mit Pumpen anderer Baureihen vollständig kompatibel.

Vorteile

  • Vollständige Korrosionsbeständigkeit für erhöhte Lebensdauer und Robustheit
  • Bis zu 5-fach längere Lebensdauer bei Anwendungen mit extremer Korrosionsbeanspruchung
  • Geringer Platzbedarf dank kompakter Konstruktion
  • Geringere Betriebskosten durch lange Wartungsintervalle und Energiesparmodus
  • Geringes Gewicht für einfachere Montage
  • Hohe Zuverlässigkeit bei Anwendungen in mittelschweren Prozessen
  • Kompatibel mit den Anforderungen für die Halbleiterproduktion
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die präzise Steuerung von Betriebsbedingungen

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik und LED

Die optimale Lösung für anspruchsvolle korrosive Prozesse
Neben allen technischen Vorteilen der A3- und A4-Serien verfügen alle in Kontakt mit Prozessgasen stehenden Teile der XN-Baureihe über eine Nickelbeschichtung für hohe Korrosionsbeständigkeit. Im Vergleich zu H- und X-Modellen erhöht sich dadurch die Lebensdauer in sehr korrosiven Anwendungen, wie z. B. Poly-Ätzprozessen, drastisch.

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