A3XN-Serie

Die ölfreien Prozesspumpen der A3XN-Serie wurden für die Anforderungen mittelschwerer korrosiver Prozesse bei reduzierten Betriebskosten entwickelt. Im Vergleich zu bisherigen Pumpentechnologien sind Energieeinsparungen von bis zu 50 % möglich. Bei diesen Pumpen wurden die neuesten Erkenntnisse zur Prozesseignung berücksichtigt. Darüber hinaus ermöglicht ihre kompakte Bauweise eine Platzersparnis. Die innovative Technologie ermöglicht es, die Wartungshäufigkeit zu reduzieren und die Lebensdauer der Pumpen zu erhöhen. Betriebskosten und Ausfallzeiten werden erheblich reduziert.

Pumpen der A3XN-Serie sind mit der Vorgänger-Baureihe A3P vollständig kompatibel.

Vorteile

  • Vollständige Korrosionsbeständigkeit für erhöhte Lebensdauer und Robustheit
  • Bis zu 5-fach längere Lebensdauer bei Anwendungen mit extremer Korrosionsbeanspruchung
  • Geringer Platzbedarf dank kompakter Konstruktion
  • Geringere Betriebskosten durch lange Wartungsintervalle und Energiesparmodus
  • Geringes Gewicht für einfachere Montage
  • Hohe Zuverlässigkeit bei Anwendungen in mittelschweren Prozessen
  • Kompatibel mit den Anforderungen für die Halbleiterproduktion
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die präzise Steuerung von Betriebsbedingungen

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, High-K)

Ausgelegt für hohe Zuverlässigkeit in mittelschweren korrosiven Prozessen
Die ölfreien Pumpen zeichnen sich durch ihre hohe Zuverlässigkeit in mittelschweren Prozessen aus, kombiniert mit einer außergewöhnlichen Korrosionsfestigkeit. Die Pumpen der Serie verfügen über einen Temperaturkontroller und Inertgasspülung. Eine geringe Geräuschentwicklung und das niedrige Vibrationsniveau sind weitere Merkmale der A3XN Serie.

Ölfreie Pumpen für die Halbleiterindustrie
Die ölfreien Pumpen der A3XN Reihe basieren auf der bewährten Technologie der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Das Pumpeninnere ist durch die Nickelbeschichtung sehr widerstandsfähig gegen korrosive Gase. Aus diesem Grund weisen die Pumpen hohe Zuverlässigkeit in mittelschweren korrosiven Prozessen auf.

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