A4XN-Serie

Ölfreie Pumpen der A4XN-Serie für anspruchsvolle korrosive Prozesse

Anspruchsvollste Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie stellen immer neue Herausforderungen an Vakuumpumpen. Die A4XN-Serie von Pfeiffer Vacuum basiert auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Sie haben die Wahl zwischen vier ölfreien Pumpenlösungen für anspruchsvolle korrosive Prozesse mit unterschiedlichen Saugvermögen von 600 bis 2.900 m3/h.

Die A4XN-Serie ist mit allen Pumpen der Vorgängerserien (H und X) vollständig kompatibel.

Vorteile

  • Höchste Korrosionsbeständigkeit für längere Betriebsdauer dank Nickelbeschichtung
  • Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbentechnologie, hocheffiziente Motoren und begrenzten Einsatz von elektrischen Heizungen
  • Großer Temperaturbereich schützt die Pumpen vor Ablagerungen von Nebenprodukten und Kondensation
  • Lange Betriebsdauer zwischen Wartungen und geringe Betriebskosten
  • Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)
  • Semi S2-0712 und UL 61010 kompatibel

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik & LED

Die optimale Lösung für anspruchsvolle korrosive Prozesse
Ausgestattet mit allen technologischen Merkmalen und Vorteilen der A4H-und A4X-Serie, verfügen alle in Kontakt mit Prozessgasen stehenden Teile der A4XN-Pumpen zusätzlich über eine korrosionsresistente Nickelbeschichtung. So wird die Betriebsdauer im Vergleich zu den Modellen der A4H- und A4X-Serie in besonders korrosiven Anwendungen, wie z. B. Poly-Ätzprozessen, deutlich erhöht.

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