Produktselektor

A4H Serie

Ölfreie A4H Pumpen für Prozesse in Halbleiter- und Beschichtungsindustrie
Anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterproduktion stellen immer neue Herausforderungen an Vakuumpumpen. Die A4H Serie von Pfeiffer Vacuum basiert auf der bewährten und energie-effizienten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und ist vollständig kompatibel mit den Pumpen der Vorgängerserien. Sie haben die Wahl zwischen sieben Pumpenlösungen mit einem Saugvermögen von 100 bis 1.800 m3/h. Drei Pumpenmodelle sind für unkritische Anwendungen ausgelegt, während vier Modelle für anspruchsvollere Prozesse geeignet sind.

Vorteile

  • Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbentechnologie, effiziente Motoren und reduzierten Einsatz von elektrischen Heizungen
  • Großer Temperaturbereich schützt die Pumpen vor Ablagerungen von Nebenprodukten und Kondensation
  • Lange Betriebsdauer zwischen Wartungen und geringe Betriebskosten
  • Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)
  • Semi S2-0712 und UL 61010 kompatibel

 

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik & LED

 

Für anspruchsvolle Prozesse die optimale Lösung
Dank hohem Gasdurchsatz und verbesserter Partikeltoleranz sind die ölfreien Pumpen der A4H Serie optimal geeignet für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Ein erweitertes Temperaturmanagement deckt sowohl niedrige als auch hohe Betriebstemperaturen ab, um so Ablagerungen von Nebenprodukten und Cracking in den Pumpstufen zu verhindern. Kombiniert mit Präzisionslagern für hohe Temperaturen erhöht dies die Ausfallsicherheit. Die Pumpen der A4H Serie sind zudem normenkonform nach Semi S2 und UL 61010.
 

Die A4H Serie: die energieeffizienteste Lösung für CVD-Prozesse
Durch die mehrstufige Wälzkolbentechnologie und hocheffiziente Motoren verfügt die A4 Serie über einen sehr geringen Energieverbrauch unter Prozessbedingungen. Auch der Leerlaufmodus kombiniert mit den benutzerfreundlichen Anpassungsmöglichkeiten der Drehzahl trägt dazu bei, die Betriebskosten zu senken.

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