Produktselektor
Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für mittelschwere Prozesse

A3P Serie

Pumpen der A3P Reihe reduzieren Betriebskosten

Fortschrittliche Technologie mit hoher Energieeffizienz für mittelschwere Prozesse
Mit den Pumpen der A3P Reihe bietet Pfeiffer Vacuum eine Pumpenserie aus drei Modellen an, die sich durch drastisch reduzierte Betriebskosten auszeichnet. Im Vergleich zu bisherigen Pumpentechnologien sind Energieeinsparungen bis zu 50 % möglich. Die Pumpen integrieren die modernsten Erkenntnisse für Prozesstauglichkeit. Sie erlauben zudem eine Platzeinsparung von bis zu 50 % im Vergleich zu bisherigen Pumpen durch ihre kompakte Bauweise.

Vorteile

  • Niedrige Betriebskosten
  • Kleine Grundfläche
  • Leichtes Gewicht für einfachere Montage
  • Hohe Zuverlässigkeit in mittelschweren Anwendungen
  • Kompatibel mit den Anforderungen für die Halbleiterfertigung

 

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzprozesse, Implantation, PVD, ...)
  • Photovoltaik

 

Ölfreie Pumpen für die Halbleiterindustrie
Die ölfreien Pumpen der A3P Reihe basieren auf der bewährten Technologie der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Das Innere der Pumpen ist resistent gegen korrosive Gase. Aus diesem Grund beweisen die Pumpen eine hohe Zuverlässigkeit bei mittelschweren Prozessen. Die drei verfügbaren Modelle der Serie bieten ein breites Saugvermögens-Spektrum und decken damit die meisten Anforderungen an Vakuumpumpen für mittelschwere Prozesse in der Halbleiterindustrie ab. Die A3P Reihe ist für den Betrieb im Reinraum geeignet und normenkonform nach CE und Semi S2.
 

Entwickelt für höchste Zuverlässigkeit bei mittelschweren Prozessen
Die ölfreien Pumpen zeichnen sich durch ihre hohe Zuverlässigkeit bei Anwendungen in mittelschweren Prozessen aus. Die Pumpen der Serie verfügen über einen Temperaturkontroller und Inertgasspülung. Eine geringe Geräuschentwicklung und das niedrige Vibrationsniveau sind weitere Merkmale der A3P Serie.

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