Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für mittelschwere Prozesse
Die ölfreien Prozesspumpen der A4H- und A3P-Serie sind energie- und kosteneffiziente Lösungen für anspruchsvolle Prozesse der Halbleiter-, Beschichtungs- und Solarindustrie.
Was sind mittelschwere Prozesse?
Mittelschwere Prozesse sind chemische Bearbeitungsprozesse, z. B. in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Ein mittelschwerer Prozess ist aggressiver als ein sauberer Prozess, da in Zuleitungen oder direkt in der Pumpe Nebenerzeugnisse entstehen. Mittelschwere Prozesse schließen Prozesse aus, in denen große Mengen korrosive Gase auftreten. Diese mittelschweren Prozesse erfordern ein hohes Saugvermögen, einen mittleren Ansaugstrom oder ein mittleres Staubmanagement. Typische mittelschwere Prozesse sind Stripp- oder Ätz- und CVD-Prozesse in 200-mm-Halbleiterproduktionsanlagen.
Wahl der richtigen Ausführung für Ihre Anwendung
Die Pumpen der Version A4H und A3P sind für Prozesse geeignet, in denen unkritische oder nur leicht korrosive Chemikalien zum Einsatz kommen. Diese Pumpenmodelle sind auch in vernickelter Ausführung (X und XN) verfügbar. Die H- und P-Versionen sind ein kostengünstiges Angebot für den Betrieb bei mittelschweren Prozessen.
Vorteile
- Niedrige Betriebskosten
- Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbenpumpentechnologie, hocheffiziente Motoren und begrenzten Einsatz elektrischer Heizungen
- Kleine Grundfläche
- Leichtes Gewicht für einfachere Montage
- Hohe Zuverlässigkeit bei mittelschweren Prozessen
- Kompatibel mit den Anforderungen für die Halbleiterproduktion
- Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
- Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)
Anwendungen
- Halbleiterindustrie (Ätzprozesse, Implantation, PVD, ...)
- Photovoltaik
