A3P-Serie

A3P-Serie

Pumpe der A3P Reihe reduziert Betriebskosten

Fortschrittliche Technologie mit hoher Energieeffizienz für mittelschwere Prozesse
Mit den Pumpen der A3P-Serie bietet Pfeiffer Vacuum eine Pumpenreihe aus drei Modellen an, die sich durch drastisch reduzierte Betriebskosten auszeichnet. Im Vergleich zu bisherigen Pumpentechnologien sind Energieeinsparungen bis zu 50 % möglich. Die Pumpe berücksichtigt die modernsten Erkenntnisse für Prozesstauglichkeit. Sie erlaubt zudem eine Platzeinsparung im Vergleich zu bisherigen Pumpen durch ihre kompakte Bauweise.

Vorteile

  • Niedrige Betriebskosten
  • Kleine Grundfläche
  • Leichtes Gewicht für einfachere Montage
  • Hohe Zuverlässigkeit in mittelschweren Anwendungen
  • Kompatibel mit den Anforderungen für die Halbleiterfertigung

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, Implantation, PVD, ...)
  • Photovoltaik

Ölfreie Pumpe für die Halbleiterindustrie
Die ölfreie Pumpe der A3P Reihe basiert auf der bewährten Technologie der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Das Innere der Pumpe ist resistent gegen korrosive Gase. Aus diesem Grund beweist die Pumpe eine hohe Zuverlässigkeit bei mittelschweren Prozessen. Das verfügbare Modell der Serie bieten ein breites Saugvermögens-Spektrum und decken damit die meisten Anforderungen an Vakuumpumpen für mittelschwere Prozesse in der Halbleiterindustrie ab. Die A3P Reihe ist für den Betrieb im Reinraum geeignet und normenkonform nach CE und Semi S2.

Entwickelt für höchste Zuverlässigkeit bei mittelschweren Prozessen
Die ölfreie Pumpe zeichnet sich durch ihre hohe Zuverlässigkeit bei Anwendungen in mittelschweren Prozessen aus. Die Pumpe der Serie verfügt über einen Temperaturkontroller und Inertgasspülung. Eine geringe Geräuschentwicklung und das niedrige Vibrationsniveau sind weitere Merkmale der A3P Serie.

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