A4H-Serie

A4H-Serie

Ölfreie A4H Pumpen für mittelschwere Prozesse in Halbleiter- und Beschichtungsindustrie
Mittelschwere Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsproduktion erforderten schon immer spezifische Vakuumeigenschaften und eine stabile Konstruktion der Vakuumpumpen. Die A4H Serie von Pfeiffer Vacuum basiert auf der bewährten und energieeffizienten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Sie haben die Wahl zwischen sieben Pumpenlösungen mit einem Saugvermögen von 100 bis 3.000 m3/h. Die Baureihe A4H ist vollständig kompatibel mit den Pumpen der Vorgängerserien. Sie haben die Wahl: Drei Pumpenmodelle sind für unkritische Anwendungen ausgelegt (A 124 H, A 604 H, A 1204 H), während fünf Modelle für anspruchsvollere Prozesse geeignet sind (A 204 H, A 804 H, A 1504 H, A 1804 H und A 3004 H).

Vorteile

  • Hohe Energieeffizienz durch mehrstufige Wälzkolbentechnologie, effiziente Motoren und reduzierten Einsatz von elektrischen Heizungen
  • Großer Temperaturbereich schützt die Pumpen vor Ablagerungen von Nebenprodukten und Kondensation
  • Lange Betriebsdauer zwischen Wartungen und geringe Betriebskosten
  • Hohe Partikeltoleranz erhöht die Betriebszeit
  • Erweiterte Überwachungsfunktionen für die genaue Kontrolle der Pumpen während des Betriebs und Möglichkeiten weiterer Einsparungen im Leerlauf-Modus (Idle)
  • Semi S2-0712 und UL 61010 kompatibel

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie (Ätzen, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • Beschichtungsindustrie: Photovoltaik und LED

Die optimale Lösung für anspruchsvolle Prozesse
Ölfreie Pumpen der A4H-Serie mit hohem Gasdurchsatz und verbesserter Partikeltoleranz sind optimal für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie geeignet. Ein erweitertes Temperaturmanagement deckt sowohl niedrige als auch hohe Betriebstemperaturen ab, um so Ablagerungen von Nebenprodukten und Cracking in den Pumpstufen zu verhindern. Kombiniert mit Präzisionslagern für hohe Temperaturen erhöht dies die Ausfallsicherheit. Die Pumpen sind zudem normenkonform nach Semi S2 und UL 61010.

A4H-Serie: die energieeffizienteste Lösung für CVD-Prozesse
Durch die mehrstufige Wälzkolbentechnologie und hocheffiziente Motoren verfügt die A4 Serie über einen sehr geringen Energieverbrauch unter Prozessbedingungen. Auch der Leerlaufmodus kombiniert mit den benutzerfreundlichen Anpassungsmöglichkeiten der Drehzahl trägt dazu bei, die Betriebskosten zu senken.

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