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Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für saubere Prozesse

Saubere Prozesse benötigen sauberes und ölfreies Vakuum. Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum sind die optimale Lösung für Industrie und F&E.
 

Ölfreie Pumpen für saubere Prozesse
Basierend auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe bietet Pfeiffer Vacuum ein breites Angebot an Hochleistungspumpen für saubere Prozesse. Die wichtigsten Merkmale für Pumpen in diesen Anwendungen sind neben einer hohen Zuverlässigkeit, ein hohes Saugvermögen und Robustheit.
 

Luftgekühlte mehrstufige Wälzkolbenpumpen der ACP Serie
Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der ACP Serie sind bestimmt für öl- und partikelfreie Anwendungen im Druckbereich zwischen Atmosphäre bis 3 · 10-2 hPa. Die luftgekühlten Pumpen sind der optimale Ersatz für Drehschieberpumpen beim Einsatz in Restgasanalysegeräten, Elektronenmikroskopen oder UHV-Systemen. Sie eignen sich hervorragend als Vorvakuumpumpen für Turbomolekularpumpen.
 

Die speziell entwickelte G-Version der Pumpen ist auf das Fördern von Spuren korrosiver Gase ausgelegt. Diese Ausführung der ACP Serie wird für Transferkammern, Prozessüberwachungssysteme und Ionenstrahl-Anwendungen empfohlen. Die CV-Version der luftgekühlten ACP Serie verfügt über eine Wasserdampfkapazität von bis zu 1.000 Gramm pro Stunde. Sie ist darauf ausgelegt, Dampfkondensation im Pumpenblock zu vermeiden.
 

ACP 120 G und ACG 600 G für industrielle Anwendungen
Basierend auf den weltweit zehntausendfach installierten Halbleiter-Prozesspumpen bringt die ACP 120 G die Vorteile der mehrstufigen Wälzkolbenpumpe auch in industrielle Anwendungen. Die wassergekühlte Pumpe ist als Standardausführung für saubere Anwendungen sowie als Spülgasversion für leicht korrosive Prozesse oder das Abpumpen kondensierbarer Medien erhältlich. Die ACP 120 G kann mit Wälzkolbenpumpen zu verschiedenen Pumpständen kombiniert werden. Die mehrstufige Wälzkolbenpumpe ACG 600 G kann die Grundlage eines komplett schmiermittelfreien Pumpsystems für Vakuumlösungen in der dekorativen oder Werkzeugbeschichtung sein.
 

Der kompakte Trockenläufer: die A 100 L
Die kompakte Pumpe A 100 L wurde für die kostensparende Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Die mehrstufige Wälzkolbenpumpe ist für den Einsatz im Reinraum geeignet und kann externe Pumpen mit deutlich höherem Saugvermögen ersetzen. Durch variabel einstellbare Geschwindigkeiten im Standby-Modus kann der Stromverbrauch des kompakten Trockenläufers A 100 L zusätzlich gesenkt werden.

Anwendungen

  • Schleusen
  • Transferkammern
  • Sputtern
  • PVD
  • Metrologie
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