Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für saubere Prozesse

Immer mehr saubere Prozesse erfordern sauberes und trockenes Vakuum. Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum sind die optimale Lösung für Industrie und F&E sowie für die Backend- und Prozessüberwachung im Halbleitermarkt.

Ölfreie Pumpen für saubere Prozesse
Basierend auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe bietet Pfeiffer Vacuum ein breites Angebot an Hochleistungspumpen für saubere Prozesse. Die wichtigsten Merkmale für Pumpen in diesen Anwendungen sind, neben einer hohen Zuverlässigkeit, ein hohes Saugvermögen und Robustheit.

Luftgekühlte mehrstufige Wälzkolbenpumpen der ACP-Serie
Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der ACP-Serie sind für öl- und partikelfreie Anwendungen im Druckbereich zwischen Atmosphäre bis 3 und 10^-2 hPa vorgesehen. Die luftgekühlten Pumpen sind der optimale Ersatz für Drehschieberpumpen.

Die speziell entwickelte G-Version der Pumpen ist auf das Fördern von Spuren korrosiver Gase ausgelegt. Diese Ausführung der ACP-Serie wird für Transferkammern, Prozessüberwachungssysteme und Ionenstrahl-Anwendungen empfohlen. Die CV-Version der luftgekühlten ACP-Serie verfügt über eine Wasserdampfkapazität von bis zu 1.000 Gramm pro Stunde. Sie ist darauf ausgelegt, Dampfkondensation im Pumpenblock zu vermeiden.

Auf Basis der Standardausführung wurden mehrere spezialisierte Versionen von ACP-Pumpen entwickelt, um diesen spezifischen Anforderungen besser gerecht zu werden:

• Fluorfreie Pumplösung SH- und R-Ausführung,
• Resistent gegen nukleare Strahlung Ausführung R,
• Wiederverwendung oder Rückgewinnung hochwertiger Gase CP-Ausführung.

ACP 120 G und ACG 600 G für industrielle Anwendungen
Basierend auf den weltweit zehntausendfach installierten Halbleiter-Prozesspumpen bringt die ACP 120 G die Vorteile der mehrstufigen Wälzkolbenpumpe auch in industrielle Anwendungen Die wassergekühlte Pumpe ist mit einem Spülgasanschluss für Anwendungen mit leicht korrosiven Gasen oder das Abpumpen von kondensierbaren Medien ausgestattet Die ACP 120 G kann mit Wälzkolbenpumpen zu verschiedenen Pumpständen kombiniert werden. Der Wälzkolbenpumpstand ACG 600 G ist die Basis eines völlig schmiermittelfreien Pumpsystems für Vakuumlösungen in der Dekor- oder Werkzeugbeschichtung.

Die kompakten und trockenen Pumpen: A 100 L und A 200 L
Die kompakten Trockenläufer A 100 L und A 200 L sind speziell zur kostensparenden Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt worden. Die A 200 L wurde optimiert, um die anspruchsvollsten häufigen Pumpphasen für Schleusen- und Transferkammern auszuführen.

Anwendungen

• Ladeschleusen
• Transferkammern
• Sputtern
• PVD
• Messtechnik