Kompakt
- Führend auf dem Markt für integrierte Trockenpumpen
- Hohes Saugvermögen 100 m3/h
- Die Pumpe ist mit einem Kühlwasserkreislauf ausgestattet
- Hohe Pumpzyklusfrequenz in der Schleusen-und Transferkammer
- Hohes Saugvermögen 200 m3/h
Integrierte Pumpen für anspruchsvolle Pumpprozesse
Diese Prozesspumpen mit ihren kompakten Abmessungen sind speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt worden. Für eine direkte Anlagenintegration und schnelle Abpumpzeiten konzipiert, sind diese kompakten Pumpen für saubere Anwendungen die perfekte Lösung für Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht-korrosiven Anwendungen.
Neue Lösung für Anwendungen mit hohem Durchsatz
Pfeiffer Vacuum beweist einmal mehr seine weltweit führende Stellung im Markt für integrierte Pumpen und präsentiert mit der A 200 L ein Produkt in der 200 m3/h-Klasse für Anwendungen mit hohem Durchsatz und häufigen Pumpzyklen. Mit der A 100 L in der 100 m3/h-Klasse und der A 200 L in der 200 m3/h-Klasse bietet Pfeiffer Vacuum eine komplette Serie für alle Schleusen- und Transferkammern.
Vorteile
- Hoher Durchsatz
- Kleine Abmessungen
- Optimierte Montage
- Niedrige Betriebskosten
Anwendungen
- Schleusen- und Transferkammern
- Halbleiterproduktion
Pumpen auf dem neuesten Stand der Technik
Die Prozesspumpen A 100 L haben seit ihrer Markteinführung die Integration von Pumpen in Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie revolutioniert. Basierend auf der Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und trotz ihrer geringen Abmessungen bieten die Pumpen hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind integrierte saubere Prozesspumpen Stand der Technik und die A 200 L-Serie ist weltweit in vielen 300 mm-Halbleiterfabriken installiert.
Integrierte Pumpen für Schleusen- und Transferkammern
In sauberen Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern schließen diese Prozesspumpen Leitungseffekte in Pumpenräume aus. Installationskosten für Vakuumleitungen, Integration und Inbetriebnahme werden durch den Einsatz der integrierten Pumpen gesenkt. Die Pumpen bieten an jeder Position in der Produktion reproduzierbare Leistung und sind energieeffizient. Hohe Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität zeichnen diese Pumpen zudem aus.
Integrierte Pumpen – nicht nur für die Halbleiterindustrie
Geringe Schallemissionen und Vibrationen sind weitere Vorteile. Wie bei der ACP-Baureihe können diese kompakten Pumpen für die Rückgewinnung oder Wiederverwendung hochwertiger Gase eingesetzt werden. Die geringen Abmessungen garantieren eine einfache Integration in Produktionsanlagen.
