Abgasreinigungssysteme

Unsere verschiedenen thermischen Gasbehandlungssysteme kombinieren die Hochtemperaturverbrennung gefährlicher Gase in der Reaktionskammer mit einem fortschrittlichen Nasswäscheprozess zur effizienten Entfernung von Abgasen und Schadstoffen. Sie gewährleisten die wirksame Zerstörung gefährlicher und perfluorierter Verbindungen (PFC) und minimieren gleichzeitig die Umweltauswirkungen.

Durch ihren bewährten und nachhaltigen Ansatz erfüllen diese Systeme strenge Emissionsvorschriften und sind daher ideal für eine Vielzahl von Branchen, in denen eine zuverlässige Abgasreinigung erforderlich ist, so wie in der Halbleiter- und chemischen Industrie sowie der Forschung und Entwicklung.

Unsere nasschemischen Abgasbehandlungssysteme, auch Nasswäscher genannt, entfernen wirksam Schadstoffe, Partikel und lösliche Gase aus industriellen Abluftströmen. Durch Flüssigkeitsabsorption und chemische Reaktionen gewährleisten diese Reduktionsanlagen eine hohe Effizienz beim Entfernen von sauren Gasen, flüchtigen organischen Verbindungen (VOC) und Staub.

Dank ihres geringeren Energiebedarfs ist die nasschemische Abgasbehandlung eine zuverlässige und vielseitige Lösung zur Erfüllung strenger Umweltvorschriften bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung der betrieblichen Effizienz.

Die innovative Trockenbett-Absorptionstechnologie von Pfeiffer entfernt toxische und korrosive Gase sicher durch Chemisorption mithilfe eines speziellen Granulats. Dieses wandelt die Gase in stabile, nicht flüchtige Feststoffe um. Die nun dauerhaft an das Granulat gebundenen Chemikalien können dann sicher gemäß den lokalen Vorschriften entsorgt werden.

Für diese Methode wird kein Brenngas oder Wasser benötigt und es entsteht kein Abwasser. Somit stellt sie eine hocheffiziente Lösung mit geringem Medienbedarf für die industrielle Abgasbehandlung dar, insbesondere für die Halbleiterindustrie sowie die Forschung und Entwicklung.

Unser trockener Partikelfilter reduziert die Feinstaubemissionen auf ein Minimum. Für eine erstklassig effiziente Partikelentfernung kann dieses System mit unserer thermischen Abgasreinigung kombiniert werden.

Da der Filter den Staub am Einsatzort, also vor dem Abluftkanal, auffängt, muss der nachgeschaltete Abluftkanal nicht manuell gereinigt werden. Das senkt die Betriebskosten der Anlage.

Abgasreinigungssysteme beseitigen gefährliche Schadstoffe und Treibhausgase, die bei Herstellungsprozessen entstehen, z. B. in der Halbleiterproduktion oder in der industriellen Gasverarbeitung. Nur mit einer Abgasreinigung kann sichergestellt werden, dass diese Gase gefahrlos in die Atmosphäre freigesetzt werden können, ohne dass sie Menschen, Tieren oder der Umwelt schaden. Aufgrund ihrer unterschiedlichen Eigenschaften erfordern verschiedene Abgase auch unterschiedliche Behandlungstechnologien. Dazu können thermische Oxidation, nasschemische Behandlung, Trockenbettverfahren oder Partikelfiltration, einzeln oder in Kombination, gehören.

Thermische Wäsche: Kombiniert thermische und nasschemische Behandlungstechnologie zur Reinigung verschiedenster Abgase. Dabei wird die chemische Zusammensetzung schädlicher Prozessgase durch thermische Oxidation verändert und wasserlösliche Gase sowie Nebenprodukte werden in der nachgeschalteten Nassstufe aufgelöst.

Nasswäscher: Bei diesem Prozess werden wasserlösliche, schädliche Schadstoffe im Abgas ausgewaschen, indem sie absorbiert und in den flüssigen Zustand umgewandelt werden.

Trockenbettabsorber: Ein Trockenbettabsorber ist ein Abgasreinigungssystem, bei dem Abgas durch ein Feststoff-Absorptionsbett geleitet wird, in dem Schadstoffe chemisch oder physikalisch gebunden werden. Mit dieser Methode können schädliche Prozessgase effizient behandelt sowie sichere und umweltverträgliche Emissionen gewährleistet werden. Sobald sie gesättigt sind, werden die Absorptionsmittel ausgetauscht oder für den Dauerbetrieb aufbereitet.

Filtersysteme: Der Partikelfilter reduziert die Feinstaubemissionen mit trockenen Filterelementen. So können Sie partikelbelastete Abluftströme, wie sie z. B. bei partikelanfälligen Halbleiter-Prozessen entstehen, effizient reinigen. Bei Bedarf kann der Partikelfilter unseren thermischen Abgasreinigungssystemen nachgeschaltet werden.

Abgasreinigungssysteme von Pfeiffer bieten hohe Effizienz, Flexibilität und Wirtschaftlichkeit und sind damit die ideale Wahl für die Halbleiterproduktion und andere anspruchsvolle Branchen. Die wichtigsten Vorteile sind:

Art der Abgase
Verschiedene Abgasreinigungssysteme sind auf verschiedene Abgase ausgelegt. Für die in der Halbleiter- und chemischen Industrie sowie in R&D und anderen vergleichbaren Branchen am häufigsten entstehenden Gase werden Abgasreinigungstechnologien gemäß Darstellung in der nachstehenden Grafik empfohlen.

Spezifische Betriebsart des Prozesses
Die Betriebsweise Ihres Prozesses kann Einfluss auf die Eignung einer bestimmten Abgasreinigungstechnologie haben. Eine Technologie, die sich ideal für kontinuierliche Produktionsprozesse eignet, ist möglicherweise nicht die kostengünstigste für einen seltenen Betrieb, wie z. B. in R&D. Und eine andere ist vielleicht die beste Wahl für halbkontinuierliche Produktionsprozesse oder teilweise unterbrochenen Betrieb. Unsere Experten unterstützen Sie gerne dabei, die passende Technologie für Ihre spezifische Anwendung zu finden.

Spezifische Anforderungen der Anlage
Die Infrastruktur Ihrer Anlage kann sich ebenfalls darauf auswirken, welche Technologie am besten geeignet ist. Verschiedene Abgasreinigungstechnologien unterscheiden sich auch im Platzbedarf, daher muss der für die Installation des Abgasbehandlungssystems verfügbare Platz berücksichtigt werden. Darüber hinaus ist die verfügbare Versorgung mit z. B. Strom und Stickstoff ein weiterer wichtiger Faktor; gleiches gilt für zusätzliche technologiespezifische Anforderungen wie Sauerstoff, Brenngas und Flüssigkeiten.

Kontaktieren Sie unsere Experten, um das richtige Abgasreinigungssystem zu finden.

Mit fortschrittlicher Abgasreinigungstechnologie engagieren wir uns für die Minimierung der Umweltauswirkungen von Abgasemissionen. Unsere Systeme reduzieren wirksam schädliche Emissionen, einschließlich hochpersistenter PFC-Gase wie CF₄, SF₆ und NF₃, die ein sehr hohes Treibhauspotenzial haben. Durch die effiziente Reinigung dieser Gase am Verwendungsort leisten unsere Abgasreinigungssysteme einen Beitrag zum Klimaschutz und zur Reduzierung industrieller Emissionen.

Unsere Reinigungslösungen erfüllen alle wichtigen Sicherheitsstandards und gewährleisten die Einhaltung strenger Luftqualitätsgesetze, einschließlich der TA Luft. Darüber hinaus spiegeln unsere Zertifizierungen nach ISO 14001 und ISO 9001 unser Engagement für industrielle Nachhaltigkeit und hochwertige Produktion wider.

Indem wir modernste Technologie mit einem Fokus auf Nachhaltigkeit kombinieren, bieten wir Lösungen, die sowohl Ihre betriebliche Effizienz als auch Ihren ökologischen Fußabdruck verbessern.

Jede Installation hat ihre eigenen Anforderungen, deshalb verfügen Abgasreinigungssysteme von Pfeiffer über eine modulare Bauweise, die an Ihre spezifischen Anforderungen an die Abgasbehandlung angepasst werden kann. Wir arbeiten eng mit Ihnen zusammen, um eine effiziente, kostengünstige und nachhaltige Lösung zu entwickeln, die auf Ihren Prozess und Ihre Anwendung zugeschnitten ist.

Als Full-Service-Anbieter sorgen wir für eine detaillierte Projektplanung von der ersten Beratung bis zur Inbetriebnahme und unterstützen Sie auch danach weiterhin mit umfassendem After-Sales und Service, damit Ihr System stets mit maximaler Leistung arbeitet.

Maßgeschneiderte Abgasreinigungslösungen

Bei Pfeiffer steht Innovation im Mittelpunkt aller unserer Abgasreinigungssysteme. Als weltweiter Technologieführer und Komplettanbieter für Abgasreinigungstechnologien bieten wir die fortschrittlichsten und effizientesten Lösungen für sauberere und nachhaltigere Industriestandards, insbesondere in der Halbleiterproduktion.

In unserem eigenen Forschungslabor entwickeln wir fortlaufend modernste Umwelttechnologien. Darüber hinaus arbeiten wir aktiv mit Universitäten und Forschungsinstituten zusammen und unterstützen die Entwicklung neuer Produktionsprozesse, indem wir eine sichere und konforme Abgasreinigung gewährleisten.