Trockene Schrauben-Vakuumpumpen

Eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe bietet hohes Saugvermögen und kontaminationsfreie Vakuumerzeugung. Diese Vorteile machen sie zu einem wichtigen Baustein in der Halbleiterproduktion. Das Funktionsprinzip einer trockenen Schrauben-Vakuumpumpe lässt sich in drei Schritten erklären:

1. Einlass:

Trockene Schrauben-Vakuumpumpen von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions werden in führenden Halbleiterfabriken eingesetzt. Dank ihres Funktionsprinzips, das auf unserer innovativen Schrauben-Technologie basiert, eignen sie sich perfekt für verschiedene Prozesse in dieser Branche. Zu ihren wichtigsten Merkmalen und Vorteilen gehören:

1. Geringer Wartungsbedarf: Schrauben-Vakuumpumpen verdichten berührungsfrei. Das bedeutet, die Schraubenrotoren berühren sich weder gegenseitig noch das Pumpengehäuse. Dies minimiert Verschleiß und Wartungsbedarf, sodass eine hohe Verfügbarkeit gewährleistet ist.

2. Ölfreier Betrieb: Trockene Vakuumpumpen benötigen keine Betriebsmittel wie zum Beispiel Öl im Verdichtungsraum. Saubere Vakuumerzeugung ist in Halbleiteranwendungen von entscheidender Bedeutung. Um höchste Produktqualität und Präzision zu gewährleisten, müssen Verunreinigungen unbedingt vermieden werden.

3. Temperaturüberwachung: Trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind mit einer effizienten Wasserkühlung ausgestattet. Sie ermöglicht eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das gesamte Pumpengehäuse und verhindert Überhitzung. Die Verdichtungswärme wird über das gesamte Pumpengehäuse verteilt und thermische Stabilität in Prozessen der Halbleiterproduktion gewährleistet. Ein wichtiger Vorteil davon ist, dass Kondensation von Prozessgasen in der Vakuumpumpe verhindert und so das Kontaminationsrisiko reduziert wird.

4. Hohes Saugvermögen und hoher Durchsatz: Trockene Schrauben-Vakuumpumpen bieten hervorragende Laufeigenschaften sowie hohe Saugvermögen und Durchsätze. Diese sind in vielen Halbleiteranwendungen erforderlich, von Load-Lock-Kammern bis hin zu partikelerzeugenden Prozessen wie dem Metallätzen.

5. Anpassung an aggressive Gase: Die Produktion von Halbleitern umfasst Prozesse wie zum Beispiel Ätzen, für die giftige Gase wie Chlor notwendig sind. Schrauben-Vakuumpumpen können dank ihrer Monoguss-Konstruktion perfekt mit diesen Gasen umgehen. Diese weist keine Spalten auf, durch die aggressive Gase in die Vakuumpumpe gelangen könnten. Dadurch wird Korrosion verhindert.

6. Niedriger Geräuschpegel: Dank ihres patentierten Designs mit selbstausbalancierenden Schrauben gewährleisten diese Vakuumpumpen einen vibrations- und geräuscharmen Betrieb. Niedrige Geräuschpegel sind für die sensiblen Prozesse in der Halbleiterproduktion unerlässlich.

All diese Eigenschaften machen trockene Schrauben-Vakuumpumpen wie die COBRA Semicon von Pfeiffer zu einer zuverlässigen Lösung für alle Anwendungen in der Halbleiterproduktion. Sie bieten eine leistungsfähige, energieeffiziente und kontaminationsfreie Vakuumerzeugung.

Ja, Schrauben-Vakuumpumpen sind sehr gut mit modernen Halbleitersystemen kompatibel. Sie sind darauf ausgelegt, die anspruchsvollen Anforderungen von Halbleiteranwendungen wie Messtechnik, Lithografie und Waferbearbeitung zu erfüllen.

Schrauben-Vakuumpumpen wie die COBRA Semicon von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions bieten eine hohe Effizienz, einen geringen Energieverbrauch sowie eine hervorragende Dampf- und Partikelverträglichkeit. All diese Vorteile machen Schrauben-Vakuumpumpen perfekt für Halbleiteranwendungen. Mit ölfreier Verdichtung gewährleisten sie eine kontaminationsfreie Vakuumerzeugung. Eine solch saubere Umgebung ist unerlässlich, um die in Halbleiterfabriken erforderliche Reinheit aufrechtzuerhalten.

Bei der Wahl der passenden Vakuumlösung für Halbleiteranwendungen müssen mehrere Faktoren berücksichtigt werden. Diese variieren je nach den spezifischen Prozessen, wie zum Beispiel Wafer-Handling, CVD oder ALD.

Kontaktieren Sie uns, um zu besprechen, welche Vakuumlösung am besten zu Ihren Anforderungen passt. Unsere Experten helfen Ihnen gerne weiter!

Für andere industrielle Anwendungen bieten Schrauben-Vakuumpumpen von Busch Vacuum Solutions zuverlässige und effiziente Vakuumerzeugung. Besuchen Sie Busch Vacuum Solutions, um mehr zu erfahren.