Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 1900 l/s für N2, Für externe Antriebselektronik TCP 1200, Ideal für Anwendungen, bei denen die Pumpe ionisierender Strahlung ausgesetzt ist, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum, Nicht für den Überkopfbetrieb geeignet, Kühlart, Wasserkühlung
Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
Machen Sie sich keine Sorgen, wir lassen Sie nicht im luftleeren Raum zurück