Von Grobvakuum- bis Ultrahochvakuumanwendungen

Innovative Technologie für alle Vakuumniveaus.

Vakuumtechnologie für Ihre Anwendung

Helium-Lecksuche

Präzise Helium-Lecksuche gewährleistet die Integrität von Vakuumsystemen für einen sicheren, effizienten Betrieb.

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Erzeugung von Ultrahochvakuum (UHV)

UHV ermöglicht bahnbrechende Forschung und Produktion in ultrareinen, partikelfreien Umgebungen.

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Container Closure Integrity Testing (CCIT)

Vakuumbasierte Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen gewährleistet sterile, leckfreie Verpackungen für pharmazeutische Sicherheit und Qualität.

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Restgasanalyse (RGA)

RGA in Vakuumsystemen identifiziert Verunreinigungen und stellt so die Sauberkeit des Prozesses und den Schutz der Ausrüstung sicher.

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Massenspektrometrie

Vakuum ermöglicht den präzisen Ionentransport für akkurate Massenanalyse in fortschrittlichen Spektrometrietechniken.

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Wärmebehandlung/Vakuumöfen

Die Vakuumwärmebehandlung ermöglicht eine gleichmäßige Materialumwandlung bei niedrigen Prozesstemperaturen und gewährleistet so eine gleichbleibende Qualität und Oberflächengüte.

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Beschleuniger

Vakuum in Beschleunigern sorgt für Partikelstrahlstabilität, hochpräzise Forschungsergebnisse und Bildgebung.

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Leckageprüfung in der Automobilindustrie, Luft- und Raumfahrt und Kältetechnik

Vakuumlecksuche gewährleistet Sicherheit und Effizienz in Hochleistungssystemen in der Automobilbranche sowie Luft- und Raumfahrt.

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Elektronenmikroskopie

Vakuum ermöglicht Elektronenfluss ohne Streuung und liefert hochauflösende Bilder selbst kleinster Strukturen.

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Lithium-Ionen-Batterien

Vakuumprozesse verbessern die Batterieleistung sowie Sauberkeit und Sicherheit bei der Fertigung.

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Dünnfilmbeschichtung

Vakuum ermöglicht gleichmäßige Dünnfilmschichten, für leistungsstarke optische, elektronische und dekorative Beschichtungsanwendungen.

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Solarzellenproduktion

Hochvakuum gewährleistet kohlenstofffreie Umgebungen, für eine effiziente, hochwertige Solarzellenproduktion.

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Wasserstoff-Brennstoffzellen

Vakuumtechnologie ermöglicht die sichere, leckagefreie Wasserstofflagerung und einen effizienten Brennstoffzellenbetrieb.

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Simulation von Weltraumbedingungen

Vakuumkammern simulieren Weltraumbedingungen zur zuverlässigen Prüfung der Leistung von Satelliten und Raumfahrzeugen.

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EUV-Lithographie

Vakuum ist entscheidend für die präzise, partikelfreie EUV-Lithografie in der Halbleiterproduktion.

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Ätzen und Reinigen von Halbleitern

Vakuum ermöglicht präzises Ätzen und Reinigen für die Produktion von Halbleitern im Nanomaßstab.

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Airborne Molecular Contamination (AMC)

Eine der Hauptursachen für Wafer-Defekte, die zu Ertragsverlusten in Halbleiterfabriken führen.
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Dünnschichtabscheidung

Vakuum minimiert bei der Dünnschichtabscheidung für Halbleiter Verunreinigungen, gewährleistet Gleichmäßigkeit und ermöglicht eine präzise Kontrolle über den Beschichtungsprozess.
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Schleusen- und Transferkammern

Vakuumlösungen für Schleusen- und Transferanwendungen.
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Ionenquelle, Strahlführung und Endstation

Die Herstellung eines Halbleiterbauteils ist ein hochkomplexer Prozess, der mehrere Stufen in einer Vakuumumgebung umfasst.
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CD-SEM

Die zunehmende Anzahl von Produktionsschritten und extrem kleine Geräteabmessungen machen die Waferinspektion und -messtechnik wichtiger denn je.
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3D-Druck

Vakuum verhindert Oxidation, verbessert die Materialqualität und steigert die Energieeffizienz, indem es höhere Energiedichten beim Schmelzen ermöglicht.
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Sterilisation

Sterilisation ist ein Prozess, bei dem verschiedene Arten von Mikroorganismen wie Pilze, Bakterien, Viren und Sporen abgetötet werden.
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