초고진공
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어플리케이션
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과학과 기술에서 초고진공 (Ultra high vacuum, UHV), UHV는기초과학연구에서 수행되는 수많은 실험에서 필수적입니다. UHV의 필요성은 고순도와 최소 입자 상호 작용 그리고 다른 오염이 없어야 한다는 것에서 비롯됩니다. 이러한 요구사항과 그 밖의 보다 많은 요구사항에진공 압력 <10-5 Pa는 필수입니다. 이러한 종류의 압력에 도달해야 할 때는 총체적인 접근법이 필수적입니다. 챔버, 펌프, 측정기 및리크 디텍터로 구성된 전체 진공 시스템을 적절한 방식으로 구성하고 계획해야 합니다.
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UHV 챔버의 디자인 및 제조: 초고진공으로 가는 과정에서의 모범 사례 및 함정.