검사 및 계측

반도체 장비 제조가 단계 수의 증가와 함께 점점 더 복잡해짐에 따라 웨이퍼 검사 및 계량도 점점 더 중요해집니다. 기존 검사 및 계량 도구를 위한 진공 솔루션 외에도, 당사는 전면 개방 통합 포드(FOUP) 및 클린룸 환경 분석을 위한 혁신적인 직렬 공기 중 분자 오염(AMC) 시스템을 제공합니다. 당사의 AMC 시스템을 사용하는 경우, 생산 주기를 통해 웨이퍼를 분석하여 제조 수율의 증가를 이끕니다.