고성능
고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량
컴팩트
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 응용 분야
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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ALD
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PECVD
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Si Poly 에칭