신뢰성
동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 긴 수명 주기, 최대 가동 시간
손쉬운 유지보수
현장 베어링 교체, 공정 먼지에 민감하지 않음
고성능
코팅 공정을 위해 특별히 설계됨, 최적화된 로터/고정자 개념
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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열 처리
금속 공정
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진공 납땜/솔더링
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열 처리
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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ALD
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PECVD
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
박막 코팅
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광학 코팅
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장식용 코팅
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마모 방지 코팅