유연성
모듈식 설계, 특정 공정 요구 사항에 맞는 개별 구성
검증됨
일반 표준 GSA 07 1221 및 GSA 07 2221에 따른 검사
고성능
낮은 검출 한계, 완전 자동화된 측정 공정
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