전체 압력 측정용 진공 측정기

각 진공 게이지는 서로 다른 물리적 원리를 기반으로 하며 다른 것보다 특정 응용 분야에 더 적합합니다. 진공 게이지의 압력 범위는 측정 원리와 측정 장치의 설계 및 구조에 따라 결정됩니다.

올바른 진공 게이지 선택

당신의 지원을 위해

각 진공 게이지는 서로 다른 물리적 원리를 기반으로 하며 다른 것보다 특정 응용 분야에 더 적합합니다. 진공 게이지의 압력 범위는 사용되는 측정 원리와 측정 장치의 설계 및 구조에 따라 결정됩니다.

감지할 압력 범위 외에도 진공 측정기를 선택하는 기준은 다양한 일반 조건에 따라 달라집니다.

  • 측정 범위

  • 요구되는 정확도

  • 가스 조성(불활성 또는 부식성)

  • 다음과 같은 환경 조건 B. 전리 방사선, 강한 자기장

  • 인터페이스 유형(아날로그 또는 디지털 신호)

실제 측정 장치 외에도 디스플레이, 평가, 문서화 등 취급을 단순화하는 액세서리가 있습니다. 원칙적으로 측정 튜브를 사용하면 총 압력만 측정할 수 있으며 부분 압력에는 질량 분석기가 사용됩니다.

측정 원리의 전략적 조합을 통한 진공 시스템 최적화

더 넓은 영역의 경우 일부 진공 시스템에서는 동일하거나 다른 측정 원리를 사용하는 여러 유형의 진공 게이지를 결합해야 할 수도 있습니다. 이는 여러 개별 측정 튜브를 시스템에 통합하거나 측정 튜브 조합하는 방식으로 작업 하여 구현할 수 있습니다. 요구 사항 및 조합에 따라, 챔버 비우기부터 후속 범람까지해당 압력 범위에서 원하는 정확도를 결정하여 전체 프로세스를 제어할 수 있습니다.

피에조 / 피라니 , 피라니 /용량성, 피라니 /열음극 및 피라니 /냉음극 조합을 사용할 수 있습니다 . 사용 가능한 플랜지 형상 : ISO-KF(표준) 및 CF 플랜지가 가장 일반적으로 사용됩니다. 일부 측정 튜브는 쉽게 멸균 가능한 TriClamp 플랜지, VCR 또는 스레드와 함께 사용할 수 있습니다. 적용 온도에 따라 확장 플랜지가 있는 진공 게이지도 사용할 수 있어 온도까지의 거리가 늘어납니다.

전체 압력을 측정하려는 압력 범위는 어느 정도이며 정확도는 어느 정도입니까?

압력 범위가 작은 프로세스 상태만 모니터링하려는 경우 다음 목록에 따라 압력 범위를 기반으로 한 측정 원리를 선택할 수 있습니다. 해당 정확도와 재현성도 나열되어 있습니다. 측정이 얼마나 정밀해야 하는지에 따라 정확도에 대한 요구 사항과 그에 따른 측정 장치의 비용이 달라집니다.

  • 측정 원리: 가스의 열전도율

  • 압력 범위: 초기 진공 ~ 고진공(1 · 103 ~ 1 · 10-4 hPa)

  • 정확도 요구 사항: 낮음 ~ 중간

피라니arrow_forward
Vacuum Measurement Principles –Pirani Gauge

DigiLine

디지털 신호 출력 장치

DigiLine 트랜스미터는 설치가 쉽고 안정적인 총 압력 측정이 필요한 산업 및 연구 응용 분야용으로 설계되었습니다 . 이 시리즈는 피에조, 피라니 , 용량성, 열음극 및 냉음극 센서 의 측정 원리를 사용하여 기술적으로 흥미로운 진공 범위를 다룹니다 . 모든 트랜스미터에는 최대 16개의 측정 지점을 컨트롤러에 연결할 수 있는 RS-485 인터페이스가 있습니다.

옵션에는 Profibus-DP, DeviceNet , Profinet 및 EtherCAT 인터페이스 또는 2개의 스위칭 포인트와 LCD 디스플레이가 있는 추가 아날로그 출력이 포함됩니다 .

  • PC 또는 PLC와의 안전 통신

  • 열악한 환경에서도 안정적인 작동을 위한 M12 커넥터 및 IP54 보호

  • 최신 인터페이스(산업용 이더넷 및 필드버스)

DigiLine 게이지

ActiveLine

아날로그 신호 출력 장치

ActiveLine 시리즈는 다양한 측정 원리 와 클래식 아날로그 출력을 갖춘 다양한 진공 측정기를 제공합니다. 이 시리즈는 초고진공부터 과압 범위까지 기술적으로 흥미로운 진공을 다루고 있습니다. 트랜스미터의 압력 비례 출력 전압은 세 개의 제어 장치에 의해 압력으로 표시되거나 제어 시스템에서 추가 처리를 위해 아날로그 입력을 통해 읽을 수 있습니다.

  • 컴팩트한 디자인으로 인한 공간 절약형 설치

  • 자동 트랜스미터 감지 기능이 있는 제어 장치를 통해 설치 오류 방지

  • Hirschmann 플러그가 포함된 균일한 표준 케이블 덕분에 모든 송신기에 대한 손쉬운 케이블링

ActiveLine 장치 는 다른 플러그와 함께 사용할 수도 있습니다. 이 일련의 장치를 CenterLine이라고 합니다 . CenterLine 장치는 다른 제조업체의 능동 송신기와 호환됩니다.

ActiveLine 게이지

맞춤형 솔루션

독특한 요구 사항에 맞게

고객의 요구에 부응하기 위해 당사는 표준 시리즈에 맞지 않는 일부 측정 장치도 제공합니다. 예를 들어, CLR 39x 유형 의 CLR 측정 튜브는 증기 멸균 가능한 동결 건조기에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 온도 조절식 용량성 진공 측정 튜브의 센서는 일정한 160°C로 가열되므로 10hPa ~ 1 · 10-3 hPa 범위에서 매우 정밀한 압력 측정이 가능합니다. 이러한 측정 튜브는 PLC를 통해 제어되며 쉽게 멸균 가능한 TriClamp 플랜지와 함께 선택적으로 사용할 수 있습니다.

특수 요구사항용 진공 게이지

파이퍼 베큠에는 이러한 목적을 위한 자체 모델 시리즈가 있을 정도로 자주 발생하는 특별한 요구 사항이 있습니다. 여기에는 무엇보다도 패시브 진공 측정기가 포함됩니다.

ModulLine

전리 방사선이 있는 영역의 전체 압력 측정용

이 측정 튜브에는 전자 장치가 포함되어 있지 않으므로 특히 방사선 수준이 높은 장소에서 사용하기에 적합합니다.

ModulLine 시리즈에는 측정 범위가 1,000 ~ 8 · 10-4 hPa인 Pirani TPR 측정 튜브 3 개 , 측정 범위가 5 · 10-3 ~ 1 · 10-11 hPa인 IKR 냉음극 측정 튜브 3개 및 IMR 고온 측정 튜브 2개가 포함되어 있습니다. 음극 측정관의 측정 범위는 1 · 10-2 ~ 2 · 10-12 hPa입니다.

  • 입증된 장수

  • 까다로운 애플리케이션 지원

  • 센서와 전자 장치를 별도로 배치할 수 있음

ModulLinearrow_forward

본선 독립적 사용을 위한 휴대용 측정 장치 및 압력 게이지

디스플레이가 있는 배터리로 작동되는 휴대용 측정 장치에는 두 가지가 있습니다. TPG 201은 열전도 원리( Pirani )에 따라 작동합니다. TPG 202에는 상위 압력 범위에 대한 압전 저항 압력 센서도 있습니다.

장치에 따라 휴대용 측정 장치는 1,200hPa에서 5 · 10-4hPa 사이의 압력 범위를 포괄합니다. 진공 시스템에 대한 유지 관리 작업을 수행하는 모든 사람을 위한 다재다능한 패키지인 편리한 액세서리 케이스를 옵션으로 사용할 수 있습니다.

기계식 압력 게이지는 진공 챔버를 환기할 때 특히 유용합니다. -1 ~ 0.6bar 범위에서 주변 압력에 상대적인 압력을 표시하고 베이킹 가능하며 UHV에 적합하며 전원 공급 장치가 필요하지 않습니다.

휴대용 측정 장치 및 압력 게이지arrow_forward

시스템 통합을 위한 통합 센서

진공 측정 장치를 복잡한 시스템에 통합하거나 단일 펌프를 모니터링하려는 경우 통합 센서는 공간이 거의 필요하지 않으며 펌프 전자 장치에 대한 간단한 연결을 제공합니다.

최적의 진공 게이지 성능을 위한 다양한 필라멘트 옵션

가열 필라멘트 관련: 측정 튜브가 사용되는 분위기에 따라, 재료에 따른 수명이 다를 수 있습니다. 따라서 당사는 니켈, 텅스텐, 이트륨 산화물 코팅 (Y2O3) 또는 백금/로듐이 포함된 텅스텐/이리듐 등으로 제작된 관련 진공 게이지의 다양한 버전을 제공합니다 . 당신에게 가장 적합한 것이 무엇인지 모르십니까?

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진공 측정기를 작동하는 데 필요한 모든 것이 포함된 패키지

완전한 측정 장비는 송신기, 제어 장치 및 케이블로 구성됩니다. 후자는 다양한 표준 길이로 제공되며 다양한 온도 범위에 적합합니다. 선택한 제품과 측정 튜브에 맞는 선택 항목을 찾을 수 있으며 액세서리를 통해서도 찾을 수 있습니다.

매력적인 패키지를 제공 하지만, 예를 들어 향후 시스템을 확장할 계획인 경우 개별 구성도 가능합니다. 스스로 해결하기 어려운 경우 영업 담당자 에게 문의하여 적합한 제품을 선택하는 데 도움을 받으십시오.

OmniControl® - universal control unit

신뢰할 수 있는 측정값을 위한 세척 및 교정

일부 진공 게이지는, 주로 사용되는 공정으로 인해 다른 진공 게이지보다 더 오염됩니다. 올바르게 청소하면 수명이 연장될 수 있습니다. 이것이 어떻게 작동하는지 알고 싶습니까? 자세한 내용은 백서 에서 알아보세요 .

또한, 측정값이 얼마나 정확하게 유지되는지에 따라 공정의 품질이 좌우되기 때문에 측정 장비를 표준에 따라 정기적으로 교정해야 합니다. 이는 품질 관리 표준 ISO 9001에서 요구하는 사항입니다. 교정을 직접 수행하려는 경우 당사는 교정 서비스교정 펌핑 스테이션을 제공합니다.

백지:
진공 게이지를 올바르게 청소하는 방법은 무엇입니까?

진공 측정 장치를 어떻게 평가하고 싶나요?

진공 게이지는 압력 변화를 감지하고 이러한 변화를 사용자가 해석할 수 있는 전기 신호로 변환하는 방식으로 작동합니다. 진공 게이지가 생성할 수 있는 신호에는 아날로그 신호와 디지털 신호의 두 가지 유형이 있습니다. 평가 신호 외에도 다양한 인터페이스가 있으며 둘 다 선택하는 것은 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 다릅니다. 실시간 데이터 교환이 필요합니까? 여러 측정 장치가 통합되어 있으며 사용자 친화성이 우선입니까?

필요한 하드웨어와 소프트웨어는 물론 인터페이스의 복잡성과 유지 관리 노력도 고려해야 합니다.

두 가지 표준 장치 시리즈인 DigiLineActiveLine 은 활성 진공 측정기입니다. 즉, 전자 구성 요소가 실제 측정 장비와 동일한 하우징에 있음을 의미합니다.