투스테이지 윤활유 공급 로터리 베인 진공 펌프

광유를 사용하는 부식성 버전

이 투스테이지 로터리 베인 진공 펌프 버전은 부식성 환경에서의 작업에 이상적이며 광유를 사용하기 때문에 낮은 운영 비용을 보장합니다. 컴팩트한 크기와 매우 낮은 최대 진공도로 높은 흡입 용량을 제공하므로 중진공 응용 분야에 이상적입니다.

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부식성 버전(PFPE)

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions의 PFPE(퍼플루오로폴리에테르) 유체 작업을 위해 개발된 이 투스테이지 로터리 베인 진공 펌프는 부식성 유체에 대한 높은 저항성이 특징적입니다. 이 펌프는 CVD 코팅, 마모 방지, 반도체 기술 및 연구 개발 분야의 응용 분야에 적합합니다.

PFPE 사용 유체 포함

이 투스테이지 로터리 베인 진공 펌프는 매우 안전하며 밀폐 밀봉형 설계로 제작됩니다. 또한 PFPE 사용 유체와 함께 작동할 수 있으며 부식 응용 분야에서 가장 높은 작동 신뢰도를 보장합니다.

오일 누출 없이 안정적인 진공 생성

마그네틱 커플링 장착 2단식 회전 로터리 베인 진공 펌프 는 마모가 발생하기 쉬운 샤프트 밀봉 부위에서 오일 누출을 제거하는 혁신적인 기술 에 의존합니다. 분석 장비, 플라이휠 질량 저장소 및 가스 기술 분야의 애플리케이션 응용 분야 컴팩트 디자인 덕분에 낮은 최대 진공도, 높은 흡입 용량 제공. 또한 샤프트 밀봉 교체 없이도 유지보수 필요성이 적습니다. 이를 통해 운영 비용 절감이 가능하며 단상 범용 모터 덕분에 전 세계적으로 사용할 수 있습니다. 유지보수 불필요 마그네틱 커플링 장착 진공 펌프는 오일 누출 없이 효율적인 진공 생성을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션이며, 컴팩트 소형 형식입니다.

폭발 가능성이 있는 환경에서의 안전성

Pfeiffer 는 폭발 가능성이 있는 환경에서의 공정 또는 폭발성 기체 및 증기 이송을 위해 특별히 ATEX 지침 2014/34/EU에 따라 Duo 11 ATEX 투스테이지 로터리 베인 진공 펌프를 개발했습니다. 이 펌프는 가장 엄격한 폭발 방지 요건을 충족합니다. ATEX 승인은 진공 펌프의 내부 및 외부 부품 모두에 적용됩니다. 이 진공 펌프는 장비 카테고리 3G 및 온도 등급 T3을 준수합니다. 폭발 그룹 IIC 이하의 모든 가스를 흡입할 수 있습니다.