氦气喷淋法精准定位泄漏点
在大型真空系统中，即使是微小泄漏也可能导致系统性能下降、工艺过程污染、生产运行延误。压力上升或下降测试通常表明存在泄漏 - 下一步是快速可靠地检测位置。这就是氦气喷雾变得至关重要的原因。这种检测方法在广泛的压力范围内非常有效，支持定性测试。
这就是氦气喷雾变得至关重要的原因。这种检测方法在广泛的压力范围内非常有效，支持定性测试。
氦气喷雾的工作原理
- 初始检查： 执行压力上升或下降测试（也称为泄漏测试），以确定密封性。事先对系统烘烤除气，以最大限度地减少背景脱气。
- 将真空系统连接到氦气检漏仪。
- 将氦气从外部喷到可疑泄漏区域，如密封件、焊缝、阀门或法兰。
- 当氦气进入系统时，通过观察检漏仪信号峰值来检测泄漏。
由于氦气喷雾可以定位泄漏而不仅仅是确认泄漏，因此可以将"检漏仪"变成真正的泄漏查找器。
半导体制造中的挑战
- 气体泄漏或微泄漏造成的污染
- 在全天候生产环境中停机时间
- O 形圈因热循环而老化
系统制造中的挑战
- 充气狭小空间内的工人安全
- 处理循环期间的热相关损坏
- 难以定位复杂连接系统中的泄漏
UHV 环境中的挑战
- 实现并保持极低的压力水平
- 检测具有多个接头的系统中的微小泄漏
- 在超洁净环境中防止污染
（例如真空炉或涂布机）
系统构建
装配或维护后，即使是组件密封中的微小错误也会导致重大问题，尤其是在处理氩气或氯气等反应性或危险气体时。
泄漏通常发生在阀门、工具或工艺特定设备集成到系统中的连接处。
氦气检漏仪如何帮助系统制造：
泄漏通常发生在阀门、工具或工艺特定设备集成到系统中的连接处。
氦气检漏仪如何帮助系统制造：
- 确保安全并防止气体暴露
- 快速定位泄漏，加快修理速度
- 保持产品质量，防止氧化或缺陷
超高真空 (UHV) 环境
在 10⁻⁷ hPa (mbar) 及以下运行的超高真空 (UHV) 系统中，即使是法兰或焊接组件中的微小泄漏也可能中断实验、延迟结果或损坏敏感设备。
为什么氦气喷雾在超高真空环境中至关重要：
为什么氦气喷雾在超高真空环境中至关重要：
- 在复杂、密封的系统中实现精确的泄漏检测
- 支持达到超高真空 (UHV) 级别所需的严格密封性要求
- 有助于保持加速器、电子显微镜和涂层腔体等敏感装置的清洁条件
Pfeiffer 普发氦气检漏仪
为您的系统找到合适的解决方案。不同的环境需要不同的解决方案 - 从紧凑型维修单元到完全集成的高流量生产线。检漏仪使用氦气质谱分析法，但其尺寸、移动性、流量和泵配置各不相同：
- 灵活的系统集成，可选配各种前级泵（干式、油润滑或外部），以满足不同的泄漏率和腔体容量 （ASM 340）
- 紧凑、便携的设计，非常适合移动服务、研发或密封的空间 （ASM 310）
- 具有最大氦气抽气速率的高流量型号，可在洁净室和全天候环境中实现快速稳定 （ASM 390/392）
- 专用工具和配件可帮助您根据不断变化的条件和工作流程调整检漏仪。从氦气喷雾套件到运输车 - 优化测试设置的一切
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ASM 340
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ASM 310
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ASM 390/392
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ASM 390/392
专家网络研讨会：有助于提升真空系统泄漏检测的见解
了解泄漏和基本知识
真空系统泄漏的原因是什么？
泄漏可能由以下原因引起：
- O 形圈损坏
- 法兰、阀门或焊缝出现裂纹或腐蚀
- 组件或真空设备安装或修理不当
- 由于残留气体或多孔材料导致的虚拟泄漏
什么是虚拟泄漏？
当捕获的气体（通常是水蒸气）从螺杆螺纹或多孔材料等空腔中缓慢释放时，就会发生虚拟泄漏。虽然这不是真正的违规行为，但这种脱气可以模仿泄漏。
它们在部分压力条件下很难检测，需要高灵敏度的方法来检测泄漏。需要使用高精度氦气检漏仪或扩展监控来识别泄漏。
您能否将 WD-40 用于真空泄漏检测？
不能。 D-40 在真空环境中会留下油性残留物和污染物，尤其是低于 1×10⁻³ hPa 时。使用异丙醇或其他酒精基液体代替 - 它们蒸发干净，可临时密封泄漏部位，指示其位置。
为什么氦气通常用于检测泄漏？
氦气是多种泄漏测试方法中使用的首选示踪气体，尤其是在真空环境中。
原因如下：
- 惰性和非反应性
- 原子尺寸极小，非常适合微泄漏
- 空气中稀有（~5 ppm），可实现高灵敏度
- 无毒且对环境友好
但是，操作不当会导致背景污染和假阳性。
始终：
- 避免喷洒过多的氦气
- 测试前对喷雾软管进行排气
- 在存疑部位轻轻精确地喷涂氦气
预防和管理泄漏
如何防止真空系统泄漏？
- 使用适合您压力的材料
- 最大限度减少设计中的接头、折弯和死腔
- 安装时小心地操作零件
- 对真空系统中的关键组件进行定期目视检查
- 运行烘烤除气过程以去除残留的水分和气体
在选择检漏仪和准备系统进行小泄漏测试时，应该考虑什么？
如何收集和记录检漏仪的测试结果？
先进的氦气检漏仪（如 ASM 产品系列）支持：
- 数字数据记录
- USB 或以太网导出
- 内置诊断和易于审核的报告
氦气泄漏检测方法和优良操作实践
喷雾方法的准确性如何？
在可用的泄漏测试方法中，氦气喷雾可提供足够的准确性来检测大多数相关泄漏。氦气喷雾用于定位，而不是绝对速率测量。它可以检测到低至约 10⁻⁷ 至 10⁻⁹ mbar∙l/s 的泄漏 - 适用于大多数真空应用。
优势：
- 在实际系统运行期间工作
- 压力上升/泄漏测试后的理想选择
- 快速发现影响安全或性能的泄漏
喷雾与嗅探：真空泄漏检测的最佳方法是什么？
氦气喷雾和嗅探只是真空泄漏测试中若干方法中的两种。选择取决于压力条件以及系统是处于真空状态还是充满空气。
氦气喷雾 | 氦气嗅探 | |
|---|---|---|
氦气流量 | 外部 → 内部 | 内部 → 外部 |
应用案例 | 腔体中的真空 | 加压腔体 |
氦气数量 | 小、可控 | 完全加压 |
大多数检漏仪都支持这两种模式。对于真空泄漏检测，喷雾仍然是高效和具成本效益的方法。
什么会影响喷雾测试的响应时间？
在大型系统中，氦气可能需要一些时间才能通过泄漏路径。优化方式：
- 使用短而宽的连接件
- 确保良好的电导率
- 极大限度地减少外部泵流体阻力（部分流量设置可能会降低信号强度）
我可以使用其他方法来检测泄漏或空气进入吗？
可以。尤其是在检测因空气或其他气体进入而导致的泄漏时，四极质谱仪 (QMS) 等替代方法可提供额外的准确性。
QMS 可检测氮气、水蒸气或氩气等气体。它们通过质量-电荷比分析泄漏，在诊断、制药和研发环境中非常有用。
检漏仪的实际使用和设置
如何正确调节氦气喷枪？
- 设置温和、受控的流量 - 足以在水中产生小气泡
- 开始之前，从测试对象中清除软管中积聚的任何氦气
- 仅针对可能的泄漏点（法兰、O 形圈、焊缝）
- 避免大量气体释放，因为可能导致错误读数
选择适合喷雾的氦气检漏仪
您的选择应反映您的设置要求，包括移动性、响应时间、抽气速率和集成灵活性：
- ASM 340: 多功能平台，专为系统认证和中型设置而设计。提供高氦气抽气速率，可配备各种前级泵（干式、油润滑或外部），以满足不同的腔体尺寸和泄漏率要求。
- ASM 310: 紧凑、轻巧的解决方案，针对服务、研发和密封的空间进行了优化。具有多位置操作、易于操作和可拆卸触摸屏接口。极佳适合便携性和快速部署是关键的移动或灵活设置。
- ASM 390 / 392: 这些型号专为洁净室使用和全天候高流量操作而设计，可提供产品组合中最高的氦气抽气速率。非常适合需要快速稳定的时间敏感流程，如半导体生产或自动化 QA 站。
哪些配件有助于优化氦气泄漏测试？
合适的工具可以使氦气泄漏检测更精确、更高效。
主要配件包括：
- HeliSpray：可重新填充的喷雾装置，用于在密封件、阀门和焊缝上准确应用氦气。
- 低流量喷枪：确保受控的氦气释放，减少错误信号并提高检测精度。
- 运输车和箱子： 保护和移动您的检漏仪和敏感组件。
- 模块化推车：非常适合实验室或生产环境中的灵活测试设置。