Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

历史

• 1890 年：一个聪明的想法成为星星之火

  这一切始于德国韦茨拉尔一位 23 岁的机械师的远见卓识。Arthur Pfeiffer 在自己的家中创立了公司，最初生产燃气灯和遥控点火器。随着电灯的出现，他立即意识到这项技术是未来的发展方向——并且存在一个重大问题：当时的真空工艺速度太慢，无法跟上需求。

  要给一个球体抽真空并使其正常工作需要数天时间。他意识到，更好、更快的真空技术对于大规模生产和为每个人提供电力至关重要，于是开始改进和完善现有的真空泵。这标志着当时仍被称为 Arthur Pfeiffer 的真空技术的开始。

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• 1910 年：将想法转化为创新

  1910 年，Arthur Pfeiffer 提出了一个突破性想法：基于物理学家和真空专家 Wolfgang Gaede 的方案的旋转式油气泵。它是第一台无油真空泵，具有世界上前所未有的性能。它主要用于给新型的钨丝灯泡抽真空，在 20 世纪初树立了真空技术的新标杆。

  

• 1929 年：走向全球

  1929 年，Arthur Pfeiffer 在列宁格勒的一个展览会上展示了 50 多台真空泵——现在也设计用于制药和化学工业。这是公司首次参加国际贸易展会，标志着跨越国界的大胆举措，将 Pfeiffer 普发技术引入国际舞台，为真正的全球化之旅奠定了基础。

  

• 1958 年：一款革命性发明诞生：涡轮泵

  1958 年，另一位大师为真空技术的革命打下了基础。由于气流限制挡板的原因，扩散泵的效率损失高达 50%，因此 Pfeiffer 普发实验室负责人 Willi Becker 博士长期以来一直在寻找提高扩散泵性能的方法。1955 年，他做出了一项突破性的发现：带有涡轮叶片的旋转盘可以产生强大的泵送效果。

  在接下来的几年里，他利用几个高速旋转盘将这个方案完善成一个原型。成果就是涡轮分子真空泵。1958 年，涡轮泵获得专利并投放市场。这是第一次能够达到以前无法实现的真空度。Pfeiffer 普发制定了新的标准，真空技术也永远发生了改变。

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• 1978 年：与 NASA 一起踏上太空之旅

  当 NASA 需要一台定制化的涡轮泵执行木星任务时，他们联系了 Pfeiffer 普发。要求与以前不同：真空泵必须小巧、高能效，并且能够以高于当时标准的 100 倍来压缩氢气。经过 12 个月的大胆尝试和密集开发，Pfeiffer 普发交付了 TPU 25，后者以出色的性能通过了所有测试。

  由此，该公司证明其开创性的真空技术已做好准备迎接终极前沿挑战——Pfeiffer 普发迎来太空之旅。

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• 1985 年：推出 SplitFlow——为分析量身定制的真空功率

  1985 年，Pfeiffer 普发面临着越来越大的挑战：质谱仪和泄漏探测器等分析仪器要求提供紧凑、强大且高度适应性的真空解决方案。答案是 SplitFlow 涡轮泵——它不仅满足了预期，而且重新定义了预期。SplitFlow 结合了 HiPace 涡轮泵中熟知的混合轴承系统，可以轻松达到高真空度甚至超高真空度，同时以令人印象深刻的能效运行。

  与强制用户调整设置或切换到特殊型号的传统真空泵不同，SplitFlow 的模块化设计使每个泵都可以像精密工具一样定制，完美适合每个流程。紧凑、灵活的安装位置，配备智能系统集成和实时数据监控，它很快成为分析领域的首选。

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• 2000 年：DigiLine——真空测量领域的数字革命

  在千禧年的转折点，Pfeiffer 普发再次通过 DigiLine 重新塑造了行业，这是世界上第一款完整的数字真空压力表产品系列。在此之前，模拟系统占主导地位，该系统通常会遇到校准、布线复杂和数据传输错误的问题。DigiLine 改变了一切，它可实现数字精度、无损数据传送和简单校准，显著提高了工艺控制和效率。

  DigiLine 配备了 Profibus-DP、Profinet 和 EtherCAT 等现代化接口，取代了繁杂的单独模拟线路，为全自动化、故障安全的真空测量奠定了基础。

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• 2001 年：ISS 上的 Pfeiffer 普发工艺

  2001 年，Pfeiffer 普发再次达到了新的高度——确切地说是比地球高 400 公里。一台专门设计的紧凑型涡轮泵加入了国际空间站 (ISS) 的船队，在等离子体晶体研究中发挥着关键作用。后来的任务见证了 Pfeiffer 普发泵和压力表对轻质材料实验的支持，帮助创造更好的材料，使地球恢复生命。

  

• 2010 年：不断增长的产品组合，无限可能

  Pfeiffer 不仅在德国 Göttingen 收购了 Trinos，而且在法国 Annecy 收购了 Alcatel-Lucent 的 Adixen 真空技术业务单元。现在，该公司提供从真空室到组件、系统和泄漏探测器的一切产品，创建了全面的高品质真空解决方案组合，其规模几乎翻了一番。

  

• 2017 年：在全球和技术层面扩展专业知识

  Pfeiffer 普发在 2017 年收购了 ATC、Dreebit 和 Nor-Cal Products，迎来了另一波尖端创新。从微流体空气泄漏检测器到离子光束真空系统和半导体行业的精密组件，产品组合比以往任何时候都更广泛、更深入、更具前瞻性。这传递出明确的信息：在高真空和超高真空方面，Pfeiffer 普发是首选专家。

  

• 2021 年：激光尖端涡轮泵工艺创新

  在发明涡轮泵 60 多年后，Pfeiffer 普发再次突破了界限——这次使用激光。2021 年，该公司获得了创新激光平衡方法的专利，这是一种高精度技术，无需螺杆或研磨即可微调涡轮泵转子。相反，高功率激光器会轻轻地蒸发材料，以实现完美平衡。

  结果如何？安静、极其可靠、超稳定的涡轮分子真空泵应运而生，非常适合要求严苛的高真空和超高真空应用。

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• 2021 年：让服务变得轻松 - 虚拟服务管理

  2021 年 9 月，Pfeiffer Vacuum 推出了其开创性的基于云的服务解决方案：虚拟服务管理 (VSM)。只需点击几下鼠标，用户就可以轻松组织任何制造商的真空设备，规划维护和简化服务活动——所有这些都在一个直观的应用程序中完成，也可以在线获取网络版本。

  

• 2021：创新，硅谷风格

  2021 年 12 月，位于圣约塞的硅谷创新中心盛大开幕。Pfeiffer 普发专家用智慧与客户直接合作，为半导体行业的高科技要求定制真空解决方案。该中心拥有先进的实验室和快速的原型制造设施，是将大胆想法转化为现实世界解决方案的中枢。

  

• 2024 年：并入 Busch Group

  2024 年，Pfeiffer 普发成为 Busch Group 的一份子，在全球拥有 8000 多名专家，打造强大的真空技术。此次合并将 Busch 普旭在粗真空和中真空领域的专业知识与 Pfeiffer 普发在高真空和超高真空领域的技术领先地位相结合。结果如何？全球一站式商店，为各种行业提供真空解决方案，包括研发、半导体和分析。

  涵盖从太空技术到食品包装的各种应用。推动技术进步，探索全球专业技能的边界。

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• 2025 年：半导体解决方案中的尾气处理

  Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 在 2025 年迎来了一款强大的补充：前 Busch Group 品牌 centrotherm clean solutions 的尾气处理系统。这些对于芯片生产中尾气管理不可或缺的系统，现在成为 Pfeiffer 普发产品组合中的一部分。

  Pfeiffer 普发在一个值得信赖的品牌下提供真空和尾气处理解决方案，为半导体行业以及 MEMS、LED、太阳能电池或平板显示器的生产提供端到端解决方案。相同的高品质工艺——现在全由一位专家提供。

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