用户友好型设计
配备大型可旋转彩色触摸屏、集成工具箱和存储空间
性能卓越
快速调试，高抽速，非常适合洁净环境中要求严苛的应用
灵活
结构紧凑，符合人体工程学设计，易于进入所有测试区域
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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泄漏检测
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高能物理
车辆及运输
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泄漏检测和 EoL 测试
化工和制药
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泄漏检测
平板显示器生产
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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Load lock 腔体
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物理气相沉积（PVD）
医院和医疗设施
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医疗器械的泄漏测试
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实验室真空
氢气
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
锂电池生产
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
制药行业
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泄漏检测
制冷
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泄漏检测和 EoL 测试
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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高流量应用
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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退火
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入
技术气体
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液化
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真空隔热
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气体运输
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装瓶
薄膜镀层
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实验室涂层