性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
平板显示器生产
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Load lock 腔体
半导体应用
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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高流量应用
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ALD
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PECVD
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Si Poly etch
太阳能发电行业
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电池制造